Na co je třeba věnovat pozornost při leštění povrchu polovodičových dílů během zpracování?

Povrchové leštění polovodičových dílů je klíčovým krokem, který přímo ovlivňuje kvalitu a výkon dílů. Při provádění leštění povrchu by měla být věnována pozornost následujícím aspektům: 1. Kontrola času a hloubky leštění: Nadměrné leštění může poškodit výkon dílu, takže je nutné přísně kontrolovat dobu leštění a hloubku, aby bylo zajištěno, že stupeň leštění je mírný, dosažení požadavku hladkého povrchu bez poškození vnitřní struktury dílu. Výběr a kvalita leštěcího roztoku: Výběr a kvalita leštěcího roztoku přímo ovlivňuje leštěcí efekt. Je nutné zvolit lešticí roztok, který je vhodný pro vlastnosti polovodičových materiálů a přísně kontrolovat vzorec a čistotu lešticího roztoku, aby se zabránilo nečistotám z kontaminace nebo poškození povrchu dílů. 3. Regulace teploty a tlaku: Je nutné udržovat konstantní teplotu a tlak během procesu leštění, aby byla zajištěna stabilita kvality leštění. Nadměrná nebo nedostatečná teplota může ovlivnit leštěcí účinek, zatímco nerovnoměrný tlak může způsobit poškrábání nebo nerovnoměrnost na povrchu dílů. 4. Elektrostatická ochrana: Polovodičové materiály jsou citlivé na statickou elektřinu, takže je nutné chránit části před statickou elektřinou během procesu leštění, aby se zabránilo poškození způsobenému statickou elektřinou. To zahrnuje používání antistatických zařízení a nástrojů, stejně jako udržování odpovídající vlhkosti a teploty v pracovním prostředí. 5. Čištění a kontrola: Po leštění musí být díly důkladně vyčištěny a zkontrolovány, aby se zajistilo, že na povrchu dílů nejsou žádné zbytkové leštěcí roztok a nečistoty. Při čištění by měly být použity vhodné čisticí prostředky a metody, aby se zabránilo sekundární kontaminaci dílů. Současně je nutné pečlivě zkontrolovat povrch dílů pomocí nástrojů, jako jsou mikroskopy, aby se ujistilo, že nedochází k žádným vadám, jako jsou škrábance nebo díry.