Stampar tal-qoxra tat-tubu tal-metall taċ-ċirkwit integrat

1. Il-proċess taċ-ċirkwit integrat b’ċirkwit wieħed juża sett sħiħ ta’ teknoloġiji tal-proċess pjanari bħall-qtugħ, il-polishing, l-ossidazzjoni, id-diffużjoni, il-fotolitografija, it-tkabbir epitassjali, u l-evaporazzjoni biex jimmanifatturaw simultanjament tranżisterori, diodi, reżistenti, kondensaturi, u komponenti oħra fuq wejfer kristalli wieħed b’silikon żgħir, u juża ċerti tekniki ta’ iżolament biex iżolaw kull komponent minn xulxin f’termini ta’ prestazzjoni elettrika. Imbagħad, saff tal-aluminju jiġi evaporat fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon u maqtugħ f’disinn interkonness bl-użu tat-teknoloġija fotolitografika, li jippermetti li l-komponenti jiġu interkonnessi f’ċirkwit komplut kif meħtieġ, u jipproduċi ċirkwit integrat b’ċirkwit wieħed b’semikonduttur.

Ċirkwit integrat b’ċippa waħda

Bl-iżvilupp ta’ ċirkwiti integrati b’ċippa waħda minn ċirkwiti integrati fuq skala żgħira sa medja għal ċirkwiti integrati fuq skala kbira u fuq skala ultra kbira, ġiet żviluppata wkoll teknoloġija tal-proċess ppjanari. Pereżempju, id-doping tad-diffużjoni huwa sostitwit bil-proċess tad-doping tal-impjantazzjoni tal-joni; Il-litografija konvenzjonali UV żviluppat f’sett komplut ta’ teknoloġiji ta’ mikromanifattura, bħall-manifattura ta’ pjanċi ta’ espożizzjoni għar-raġġ elettroniku, il-qtugħ tal-plażma, it-tħin tal-joni reattiva, eċċ; It-tkabbir epitassjali jadotta wkoll teknoloġija ta’ epitassija tar-raġġ molekulari b’vakwu ultra għoli; L-użu ta’ teknoloġija kimika ta’ depożizzjoni tal-fwar għall-manifattura ta’ films ta’ silikon polikristallin, dijossidu tas-silikon u passivazzjoni tal-wiċċ; Minbarra l-użu tal-aluminju jew tad-deheb, il-linji rqiqa interkonnessi jadottaw ukoll proċessi bħad-depożitu tal-fwar kimiku ta’ films rqiqa tas-silikon polikristallin doppjati ħafna u films rqiqa tas-siliċidu tal-metall prezzjuż, kif ukoll strutturi interkonnessi b’diversi saffi.

Ċirkwit integrat b’ċippa waħda huwa ċirkwit integrat li jimplimenta b’mod indipendenti funzjonijiet taċ-ċirkwit tal-unit à mingħajr il-ħtieġa għal komponenti esterni. Biex tinkiseb integrazzjoni b’ċippa waħda, jeħtieġ li tiġi indirizzata l-integrazzjoni tar-reżistenti, il-kondensaturi, u l-apparati tal-enerġija li huma diffiċli li jiġu mminat, kif ukoll il-kwistjoni tal-iżolament ta’ kull komponent minn xulxin f’termini ta’ prestazzjoni taċ-ċirkwiti.

2. It-transistor, id-diode, ir-reżistent, il-kondensatur, l-induttur u komponenti oħra taċ-ċirkwit kollu, kif ukoll l-interkonnessjonijiet tagħhom, huma kollha magħmulin minn metall, semikonduttur, ossidu tal-metall, diversi fażijiet imħallta tal-metall, ligi jew films dielettriċi li jiżolaw bi ħxuna ta’ inqas minn mikron, u sovrapposti bi proċess ta’ evaporazzjoni tal-vakwu, proċess ta’ sputtering u proċess ta’ electroplating. Iċ-ċirkwit integrat magħmul minn dan il-proċess jissejjaħ ċirkwit integrat b’rita rqiqa. Proċess ewlieni:

Ċirkwit Integrat b’Film Ħuq

① Skont id-dijagramma taċ-ċirkwit, l-ewwel taqsam f’diversi dijagrammi tal-komponenti funzjonali, imbagħad uża l-metodu tat-tqassim pjanari biex jikkonvertihom f’dijagrammi tat-tqassim planari taċ-ċirkwit fuq is-sottostrat, u mbagħad uża l-metodu tat-tfassil tal-pjanċi fotografiċi biex jipproduċi mudelli tan-netwerk tal-films ħxuna għall-istampar tal

\9313; Il-proċessi ewlenin għall-manifattura ta’ netwerks ta’ films ħxuna fuq sottostrati huma l-istampar, is-sinterizzazzjoni, u l-aġġustament tar-reżistenza. Il-metodu ta’ stampar użat b’mod komuni huwa l-istampar fuq l-iskrin.

\9314; Matul il-proċess ta’ sinterizzazzjoni, l-irbit organiku jiddekomponi u jevapora kompletament, u t-trab solidu jdub, jiddekomponi, u jgħaqqad biex jifforma film ta’ ħxuna densa u qawwija. Il-kwalità u l-prestazzjoni ta’ films ħxuna huma relatati mill-qrib mal-proċess ta’ sinterizzazzjoni u mal-atmosfera ambjentali. Ir-rata tat-tisħin għandha tkun bil-mod biex tiżgura l-eliminazzjoni sħiħa tal-materja organika qabel ma l-ħġieġ jiċċirkola; Il-ħin tas-sinterizzazzjoni u t-temperatura massima jiddependu fuq il-molla u l-istruttura tal-membrana użata. Biex tiġi evitata l-qsim tar-rita ħxuna, ir-rata tat-tkessiħ għandha tiġi kkontrollata wkoll. Il-forn tas-sinterizzazzjoni użat b’mod komuni huwa l-forn tal-mina.

\9315; Biex tinkiseb l-aħjar prestazzjoni tan-netwerks tal-films ħoxnin, ir-reżistenzi jridu jiġu aġġustati wara l-ħruġ. Metodi komuni ta’ aġġustament tar-reżistenza jinkludu l-aġġustament tal-polz tar-ramel, il-lejżer u l-vultaġġ.

3. It-teknoloġija taċ-ċirkwit integrat b’rita ħxuna tuża stampar tal-iskrin biex tiddepożita reżistenza, kisi dielettriku u konduttur fuq ossidu tal-aluminju, ċeramika tal-ossidu tal-beryllium, jew sottostrati tal-karbur tas-silikon. Il-proċess ta’ depożizzjoni jinvolvi l-użu ta’ malja fina tal-wajer biex jinħolqu mudelli ta’ diversi films. Dan ix-xejra jsir bl-użu ta’ metodi fotografiċi, u l-latex jintuża biex jimblokka t-toqob tal-malji fi kwalunkwe żona fejn ma jkun depożitat l-ebda kisja. Wara t-tindif, is-sottostrat tal-alumina jiġi stampat b’kisja konduttiva biex jifforma linji ta’ konnessjoni interna, żoni ta’ soldazzjoni terminali reżistenti, żoni ta’ adeżjoni taċ-ċippa, elettrodi tal-qiegħ tal-konduttur, u films tal-konduttur. Wara t-tnixxif, il-partijiet jiġu ppukkjati f’temperatura ta’ bejn 750 u 950 [UNK] biex jiffurmaw, jevaporaw l-adeżiv, jissaħħnu l-materjal tal-konduttur, u mbagħad jużaw proċessi tal-istampar u tal-ħruq biex jipproduċu reżistenzi, kondensaturi, jumpers, iżolaturi, u siġilli tal-kulur. L-apparati attivi huma mmanifatturati bl-użu ta’ proċessi bħal iwweldjar ewtetiku baxx, issaldar mill-ġdid, issaldar b’inverżjoni b’bump b’punt baxx ta’ tidwib, jew ċomb tat-tip tar-raġġ, u mbagħad immuntati fuq sottostrat maħruġ.

ċirkwit integrat b’rita ħxuna

Il-ħxuna tal-films taċ-ċirkwiti tal-films ħxuna hija ġeneralment 7-40 mikron. Il-proċess tat-tħejjija tal-wajers b’diversi saffi bl-użu tat-teknoloġija tal-films ħoxnin huwa relattivament konvenjenti, u l-kompatibbiltà tat-teknoloġija b’diversi saffi hija tajba, li tista’ ttejjeb ħafna d-densità tal-assemblaġġ tal-integrazzjoni sekondarja. Barra minn hekk, il-proċessi tal-isprejjar tal-plażma, tal-isprejjar tal-fjamma, tal-istampar u tat-twaħħil huma teknoloġiji ġodda kollha tal-proċess tal-films ħxuna. Bħal ċirkwiti integrati b’rita rqiqa, iċ-ċirkwiti integrati b’rita rqiqa jużaw ukoll proċessi ibridi għaliex transistors b’rita rqiqa għadhom mhumiex prattiċi.

4. Karatteristiċi tal-proċess: Ċirkwiti integrati b’ċippa waħda u ċirkwiti integrati b’rita rqiqa u b’rita ħxuna kull wieħed għandu l-karatteristiċi tiegħu stess u jista’ jikkumplimenta lil xulxin. Il-kwantità ta’ ċirkwiti ġenerali u ċirkwiti standard hija kbira, u jistgħu jintużaw ċirkwiti integrati b’ċippa waħda. Għal ċirkwiti b’domanda baxxa jew mhux standard, ġeneralment jintuża proċess ibridu, li jinvolvi l-użu ta’ ċirkwiti integrati standardizzati b’ċippa waħda u ċirkwiti integrati ibridi b’komponenti attivi u passivi. Ċirkwiti integrati b’rita ħxuna u b’rita rqiqa jaqsmu ma’ xulxin f’ċerti applikazzjonijiet. It-tagħmir tal-proċess użat fit-teknoloġija tal-films ħoxnin huwa relattivament sempliċi, id-disinn taċ-ċirkwit huwa flessibbli, iċ-ċiklu tal-produzzjoni huwa qasir, u d-dissipazzjoni tas-sħana hija tajba. Barra minn hekk, minħabba l-faċilità li jinkiseb wajering b’diversi saffi fil-proċess tal-manifattura ta’ ċirkwiti tal-films ħxuna, iċ-ċippi taċ-ċirkwiti integrati fuq skala kbira jistgħu jiġu mmuntati f’ċirkwiti integrati fuq skala ultra kbira f’applikazzjonijiet aktar kumplessi lil hinn mill-kapaċitajiet taċ-ċirkwiti integrati b’ċippa waħda jew b’ċippa waħda integrata multifunzjonali jistgħu jiġu mmuntati wkoll f’komponenti multifunzjonali jew saħansitra magni żgħar.

5. Użu u prekawzjonijiet: (1) Ċirkwiti integrati ma jitħallewx jaqbżu l-valuri limitu tagħhom waqt l-użu. Meta l-vultaġġ tal-provvista tal-enerġija jinbidel b’mhux aktar minn 10% tal-valur nominali, il-parametri elettriċi għandhom jikkonformaw mal-valuri speċifikati. Meta l-provvista tal-enerġija użata fiċ-ċirkwit tiġi mixgħula u mitfija, m’għandu jkun hemm l-ebda vultaġġ istantanju ġġenerat, inkella dan jikkawża ċ-ċirkwit li jinqasam.

(2) It-temperatura operattiva taċ-ċirkwiti integrati hija ġeneralment bejn -30~85 [UNK], u għandhom jiġu installati kemm jista’ jkun ’l bogħod mis-sorsi tas-sħana.

(3) Meta ċ-ċirkwiti integrati jiġu ssaldati manwalment, il-ħadid ta’ ssaldar b’qawwa akbar minn 45W m’għandux jintuża, u l-ħin kontinwu ta’ ssaldar m’għandux jaqbeż l-10 sekondi.

(4) Għaċ-ċirkwiti integrati MOS, huwa meħtieġ li jiġi evitat it-tkissir tal-induzzjoni elettrostatika tal-gate.

Dan ta’ hawn fuq huwa introduzzjoni għat-teknoloġija taċ-ċirkwiti integrati. Bħalissa, iċ-ċirkwiti integrati b’ċippa waħda mhux biss qed jiżviluppaw lejn integrazzjoni ogħla, iżda wkoll lejn ċirkwiti ta’ qawwa għolja, lineari, ta’ frekwenza għolja u ċirkwiti analogi. Madankollu, f’termini ta’ ċirkwiti integrati ta’ mikromewġ u ċirkwiti integrati b’qawwa għolja, ċirkwiti integrati ibridi b’rita rqiqa u b’rita ħxuna għadhom għandhom vantaġġi. F’għa żla speċifika, diversi tipi ta’ ċirkwiti integrati b’ċippa waħda ta’ spiss jiġu kkombinati ma’ proċessi ta’ integrazzjoni ta’ films ħxuna u films irqiqa, speċjalment sottostrati tan-netwerk ta’ reżistenza għall-preċiżjoni u tan-netwerk ta’ kondensaturi reżistenti huma mwaħħla ma’ sottostrati mmuntati minn reżistenti għal films ħxuna u faxex ta’ konduzz Meta jkun meħtieġ, komponenti ultra żgħar individwali jistgħu jiġu konnessi anki biex jiffurmaw partijiet jew il-magna kollha.