Na co należy zwrócić uwagę podczas polerowania powierzchni części półprzewodnikowych podczas obróbki?

Polerowanie powierzchni części półprzewodnikowych jest kluczowym krokiem, który bezpośrednio wpływa na jakość i wydajność części. Podczas polerowania powierzchni należy zwrócić uwagę na następujące aspekty: 1. Kontrola czasu polerowania i głębokości: Nadmierne polerowanie może uszkodzić wydajność części, dlatego konieczne jest ścisłe kontrolowanie czasu i głębokości polerowania, aby upewnić się, że stopień polerowania jest umiarkowany, osiągając wymaganie gładkiej powierzchni bez uszkodzenia wewnętrznej struktury części. Wybór i jakość roztworu polerowania: Wybór i jakość roztworu polerowania bezpośrednio wpływają na efekt polerowania. Konieczne jest wybranie roztworu polerowania, który jest odpowiedni do charakterystyki materiałów półprzewodnikowych i ścisła kontrola formuły i czystości roztworu polerowania, aby uniknąć zanieczyszczeń przed zanieczyszczeniem lub uszkodzeniem powierzchni części. 3. Kontrola temperatury i ciśnienia: Konieczne jest utrzymanie stałej temperatury i ciśnienia podczas procesu polerowania, aby zapewnić stabilność jakości polerowania. Nadmierna lub niewystarczająca temperatura może wpływać na efekt polerowania, podczas gdy nierównomierne ciśnienie może powodować zadrapania lub nierówności na powierzchni części. 4. Ochrona elektrostatyczna: Materiały półprzewodnikowe są wrażliwe na elektryczność statyczną, dlatego konieczne jest ochrona części przed elektrycznością statyczną podczas procesu polerowania, aby zapobiec uszkodzeniom spowodowanym przez elektryczność statyczną. Obejmuje to stosowanie urządzeń antystatycznych i narzędzi, a także utrzymanie odpowiedniej wilgotności i temperatury w środowisku pracy. 5. Czyszczenie i inspekcja: Po polerowaniu części należy dokładnie oczyścić i sprawdzić, aby upewnić się, że na powierzchni części nie ma pozostałości roztworu polerowania i zanieczyszczeń. Podczas czyszczenia należy stosować odpowiednie środki czyszczące i metody, aby uniknąć wtórnego zanieczyszczenia części. Jednocześnie konieczne jest dokładne sprawdzenie powierzchni części za pomocą narzędzi takich jak mikroskopy, aby upewnić się, że nie występują wady, takie jak zadrapania czy doły.