Ce trebuie acordat atenție la lustruirea suprafeței pieselor semiconductoare în timpul prelucrării?

Lustruirea suprafeței prelucrării pieselor semiconductoare este un pas crucial care afectează în mod direct calitatea și performanța pieselor. La efectuarea lustruirii suprafeței, trebuie acordată atenție următoarelor aspecte: 1. timpul de lustruire și controlul adâncimii: lustruirea excesivă poate deteriora performanța piesei, deci este necesar să se controleze strict timpul și adâncimea de lustruire pentru a se asigura că gradul de lustruire este moderat, atingând cerința de suprafață netedă fără a deteriora structura internă a piesei. Selectarea și calitatea soluției de lustruire: Selectarea și calitatea soluției de lustruire afectează direct efectul de lustruire. Este necesar să alegeți o soluție de lustruire potrivită pentru caracteristicile materialelor semiconductoare și să controlați strict formula și puritatea soluției de lustruire pentru a evita impuritățile de la contaminarea sau deteriorarea suprafeței pieselor. 3. Controlul temperaturii și presiunii: Este necesar să se mențină o temperatură și presiune constantă în timpul procesului de lustruire pentru a asigura stabilitatea calității lustruirii. Temperatura excesivă sau insuficientă poate afecta efectul de lustruire, în timp ce presiunea neuniformă poate provoca zgârieturi sau inegalități pe suprafața pieselor. 4. Protecție electrostatică: Materialele semiconductoare sunt sensibile la electricitatea statică, deci este necesar să protejați piesele de electricitatea statică în timpul procesului de lustruire pentru a preveni deteriorarea cauzată de electricitatea statică. Aceasta include utilizarea de echipamente și instrumente antistatice, precum și menținerea umidității și temperaturii adecvate în mediul de lucru. 5. Curățare și inspecție: După lustruire, piesele trebuie să fie curățate și inspectate temeinic pentru a se asigura că nu există soluții reziduale de lustruire și contaminanți pe suprafața pieselor. În timpul curățării trebuie utilizate agenți și metode de curățare adecvate pentru a evita contaminarea secundară a pieselor. În același timp, este necesar să se inspecteze cu atenție suprafața pieselor folosind instrumente, cum ar fi microscoapele, pentru a se asigura că nu există defecte, cum ar fi zgârieturi sau gropi.