Na kaj je treba posvetiti pozornost pri poliranju površine polprevodniških delov med obdelavo?

Površinsko poliranje obdelave polprevodniških delov je ključen korak, ki neposredno vpliva na kakovost in zmogljivost delov. Pri izvajanju površinskega poliranja je treba pozornost nameniti naslednjim vidikom: 1. nadzor časa poliranja in globine: Prekomerno poliranje lahko poškoduje učinkovitost dela, zato je treba strogo nadzorovati čas in globino poliranja, da se zagotovi, da je stopnja poliranja zmerna, doseže zahtevo po gladki površini brez poškodb notranje strukture dela. Izbira in kakovost raztopine za poliranje: Izbira in kakovost raztopine za poliranje neposredno vplivata na učinek poliranja. Treba je izbrati raztopino za poliranje, ki je primerna za značilnosti polprevodniških materialov, in strogo nadzorovati formulo in čistost raztopine za poliranje, da se prepreči nečistoče, ki onesnažujejo ali poškodujejo površino delov. 3. nadzor temperature in tlaka: Med postopkom poliranja je treba ohraniti konstantno temperaturo in tlak, da se zagotovi stabilnost kakovosti poliranja. Prekomerna ali nezadostna temperatura lahko vpliva na učinek poliranja, neenakomerni tlak pa lahko povzroči praske ali neenakomernost na površini delov. 4. elektrostatična zaščita: Polprevodniški materiali so občutljivi na statično električno energijo, zato je treba dele med postopkom poliranja zaščititi pred statično električno energijo, da se prepreči poškodbe, ki jih povzroča statična električna energija. To vključuje uporabo antistatične opreme in orodij ter ohranjanje ustrezne vlažnosti in temperature v delovnem okolju. 5. čiščenje in pregled: Po poliranju je treba dele temeljito očistiti in pregledati, da se zagotovi, da na površini delov ni ostankov raztopine za poliranje in onesnaževal. Med čiščenjem je treba uporabiti ustrezna čistilna sredstva in metode, da se prepreči sekundarna kontaminacija delov. Hkrati je treba skrbno pregledati površino delov z orodji, kot so mikroskopi, da se zagotovi, da ni napak, kot so praske ali jame.