На какво трябва да се обърне внимание при полиране на повърхността на полупроводникови части по време на обработката?

Повърхностното полиране на обработката на полупроводникови части е решаваща стъпка, която пряко влияе върху качеството и производителността на частите. При извършване на повърхностно полиране трябва да се обърне внимание на следните аспекти: 1. контрол на времето и дълбочината на полиране: Прекомерното полиране може да повреди производителността на частта, така че е необходимо стриктно да се контролира времето и дълбочината на полиране, за да се гарантира, че степента на полиране е умерена, постигайки изискването за гладка повърхност, без да се повреди вътрешната структура на частта. Изборът и качеството на полиращия разтвор: Изборът и качеството на полиращия разтвор пряко влияят върху ефекта на полиране. Необходимо е да изберете разтвор за полиране, подходящ за характеристиките на полупроводниковите материали, и стриктно да контролирате формулата и чистотата на разтвора за полиране, за да се избегне замърсяване или повреждане на повърхността на частите. 3. контрол на температурата и налягането: Необходимо е да се поддържа постоянна температура и налягане по време на процеса на полиране, за да се гарантира стабилността на качеството на полиране. Прекомерната или недостатъчната температура може да повлияе на ефекта на полиране, докато неравномерното налягане може да причини драскотини или неравномерност по повърхността на частите. 4.Електростатична защита: Полупроводниковите материали са чувствителни към статично електричество, така че е необходимо частите да бъдат защитени от статично електричество по време на процеса на полиране, за да се предотврати повреда, причинена от статично електричество. Това включва използване на антистатично оборудване и инструменти, както и поддържане на подходяща влажност и температура в работната среда. 5.Почистване и инспекция: След полиране частите трябва да бъдат внимателно почистени и инспектирани, за да се гарантира, че няма остатъчен разтвор за полиране и замърсители на повърхността на частите. По време на почистване трябва да се използват подходящи почистващи средства и методи, за да се избегне вторично замърсяване на частите. В същото време е необходимо внимателно да се инспектира повърхността на частите, като се използват инструменти като микроскопи, за да се гарантира, че няма дефекти като драскотини или ями.