ماشینکاری CNC قطعات نیمه هادی

زنجیره تامین نیمه هادی به یک ثابت بستگی دارد: دقت سازش ناپذیر. هر چاک ویفر ، سر دوش CVD ، سوکت تست یا هیت سینک که وارد یک فاب می شود باید تلورانس های اندازه گیری شده در میکرون تک رقمی را داشته باشد و با تکرارپذیری تولید شود که در هزاران واحد وجود دارد. یک قطعه خارج از مشخصات می تواند یک خط لیتوگرافی را متوقف کند یا دسته ای از تراشه های میلیونی را از بین ببرد. این واقعیتی است که EMAR هر روز در آن کار می کند - و به همین دلیل است که ما کل اکوسیستم ماشینکاری CNC خود را بر اساس نیازهای خاص سازندگان تجهیزات نیمه هادی ساخته ایم.

این مقاله طیف کاملی از ماشینکاری CNC قطعات نیمه هادی را باز می کند: تکنیک هایی که دقت در سطح میکرون را ارائه می دهند ، موادی که در محیط های شیمیایی و حرارتی تهاجمی جان سالم به در می برند ، خانواده های قطعاتی که کارخانه ها را در حال کار نگه می دارند ، و فرآیندهای تکمیلی که سازگاری اتاق تمیز را تضمین می کنند. اگر قطعات نیمه هادی با دقت بالا را تهیه می کنید ، در اینجا یک نمای کلی دقیق و فنی از ظاهر تولید واقعاً توانا خواهید یافت.

ضرورت دقیق در نیمه هادی ها ManufacturingSemiconductor ساخت همیشه مسابقه ای به سوی بی نهایت کوچک بوده است. آنچه تغییر کرده است زیرساخت های تولیدی مورد نیاز برای پشتیبانی از آن است. از آنجایی که قانون مور کند می شود و صنعت به سمت بسته بندی پیشرفته ، ادغام ناهمگن و فرمت های ویفر بزرگ تر می چرخد ، از اجزای مکانیکی داخل ابزارهای فرآیند خواسته می شود تا زمانی که برای خود تراشه ها رزرو شده بود ، تلورانس ها را حفظ کنند.

روندهای امروزی فقط فشار را تقویت می کنند. اتوماسیون کامل به این معنی است که ماژول های جابجایی ویفر و پایانه های روباتیک به ویژگی های موقعیت یابی نیاز دارند که تا انحراف نزدیک به صفر ماشین کاری شده اند. برق رسانی و ظهور دستگاه های قدرت کاربید سیلیکون ، اجزای مدیریت حرارتی را برای هدایت گرما کارآمدتر از همیشه سوق می دهد. اتصال دیجیتال فراگیر و افزایش امنیت سخت افزاری تقاضا برای سوکت های آزمایشی و کنتاکتورهایی را ایجاد می کند که می توانند هزاران چرخه درج را بدون تخریب انجام دهند. در تمام این بردارها ، ماشینکاری CNC مخرج مشترکی است که ذخایر خام را به قطعات واجد شرایط و آماده تولید تبدیل می کند.

در EMAR ، ما به کار نیمه هادی با یک استاندارد واحد نزدیک می شویم: اگر یک ویژگی قابل اندازه گیری باشد ، باید کنترل شود. این فلسفه در هر ماشین ، هر فرآیند و هر روال بازرسی در طبقه ما جریان دارد.

تکنیک های اصلی CNC برای نیمه هادی ها ComponentsSemiconductor قطعات طیف وسیعی از هندسه ها را در بر می گیرند - از پین های انتقال ویفر استوانه ای گرفته تا صفحات محفظه ای با فرمت بزرگ با هزاران ریز سوراخ. EMAR مجموعه ای از قابلیت های CNC را به دقت تطبیق داده است تا این تنوع را بدون مصالحه مدیریت کند.

فرز CNC (3 محور تا 5 محور) برای اجزای حیاتی مسطح مانند چاک های ویفر ، صفحات توزیع گاز و قالب های پد پولیش ، فرز چند محوره ترکیبی از پرداخت سطح و کنترل ابعادی را فراهم می کند که کاربردهای نیمه هادی نیاز دارند. مراکز ماشینکاری 5 محوره ما ، از جمله پلتفرم های سری EMAR VESTA و D2-5AX ، امکان ماشینکاری تک تنظیمی هندسه های پیچیده را فراهم می کنند و خطاهای پشته ای را که از تثبیت چندگانه ناشی می شوند ، حذف می کنند. نتیجه صافی در 0.002 میلی متر و پرداخت سطحی است که به حداقل پس از پردازش نیاز دارد.

تراشکاری CNC و سوئیسی MachiningCylindrical قطعات - کانکتورها ، بوش ها ، غلتک های انتقال ویفر ، و محفظه های پین پوگو - بر روی ماشین های تراش CNC و ماشین های تراش اتوماتیک نوع سوئیسی ما تولید می شوند. ماشینکاری سوئیسی به ویژه برای قطر کوچک ارزشمند است ، high-length-to-diameter-ratio قطعات رایج در سوکت های تست و حامل های تراشه. با فناوری هد استوک کشویی ، قطرهای 0.002 میلی متر را روی ویژگی هایی که بزرگتر از سرب مدادی نیستند نگه می داریم.

سرعت بالا Micro-MachiningSeveral اجزای نیمه هادی ، به ویژه سر دوش CVD و سوکت های آزمایش ، به الگوهایی از صدها یا هزاران سوراخ کوچک نیاز دارند که هر کدام دارای قطر ، موقعیت و کیفیت دیوار دقیق هستند. پلتفرم های اسپیندل پرسرعت EMAR (تا 60000 دور در دقیقه) که با نگهدارنده های ابزار بسیار کم مصرف جفت شده اند ، برای این کار ساخته شده اند. طراحی کم لرزش عمر ابزار را روی آرایه های سوراخ متراکم در فولاد ضد زنگ ، برنج و پلاستیک های مهندسی حفظ می کند. ما همچنین از خنک کننده مبتنی بر اتانول در این سیستم ها استفاده می کنیم - یک محلول کاملاً بدون روغن که باقیمانده ها را از بین می برد و از آلودگی جلوگیری می کند و از همان ابتدا آن را برای اتاق تمیز می کند.

کنترل فرآیند CAD / CAM-Driven هر بخش با یک مدل CAD سه بعدی و شبیه سازی CAM شروع می شود. قبل از اینکه یک تراشه منفرد بریده شود ، مهندسان ما مسیرهای ابزار را تأیید می کنند ، بازگشت فنری مواد را پیش بینی می کنند و فاصله ابزارهای میکرو را تأیید می کنند. این قسمت جلویی دیجیتال چیزی است که به ما امکان می دهد از یک چاپ پیچیده و قابل تحمل به یک قسمت مقاله اول با حداقل تکرار برویم - یک عامل مهم در زمانی که زمان تحویل کم است.

موادی که با Fab ملاقات می کنند RequirementsSemiconductor محیط ها از نظر شیمیایی تهاجمی ، از نظر حرارتی پویا و بی وقفه بر کنترل آلودگی متمرکز هستند. پالت مواد برای قطعات ماشینکاری شده با CNC باید با این شرایط مطابقت داشته باشد.

فلزات

آلیاژهای آلومینیوم (6061-T651, 7075-T651, 5052-T651): سبک وزن ، هدایت حرارتی عالی و به طور طبیعی مقاوم در برابر خوردگی. برای سینک های حرارتی ، براکت های جابجایی ، چاک های ویفر و محفظه های ساختاری بزرگ استفاده می شود.

فولاد ضد زنگ (303 ، 304 ، 316 ، 17-4PH): استحکام بالا ، مقاومت در برابر خوردگی برتر و سازگاری با اتاق تمیز. در اتصالات ، کانکتورها ، پانل های گاز و اجزای محفظه ای که باید در برابر مواد شیمیایی تمیزکننده تهاجمی مقاومت کنند ، مستقر شده است.

تیتانیوم (درجه 2 ، درجه 5): نسبت قدرت به وزن استثنایی و زیست سازگاری. در جابجایی تخصصی ویفر و medical-semiconductor تجهیزات متقاطع

مس و برنج (T2 ، H59 ، H62): هدایت الکتریکی و حرارتی بالا. برای کنتاکتورها ، محافظ EMI و قطعات مدیریت حرارتی ضروری است. برنج همچنین برای اتصال دهنده هایی که سهولت ماشینکاری و اصطکاک کم اهمیت دارد استفاده می شود.

مهندسی پلاستیک

PEEK: در برابر دمای سرویس مداوم بالای 250 درجه سانتیگراد مقاومت می کند ، تقریباً در برابر تمام مواد شیمیایی فرآیند مقاومت می کند و خروج گاز بسیار کم را نشان می دهد. ماده انتخابی برای جابجایی ویفر ، عایق ها و سوکت های تست.

PTFE (تفلون): ضریب اصطکاک کم و مقاومت شیمیایی جهانی. در مهر و موم ها ، واشرها و اجزای عایق رایج است.

پلی کربنات و دلرین (POM): برای پوشش های شفاف ، وسایل و قطعات مقاوم در برابر سایش که در آن خواص دی الکتریک مورد نیاز است استفاده می شود.

مواد نیمه هادی تخصصی فراتر از آلیاژهای استاندارد ، EMAR به طور معمول مواد زیرلایه مانند را ماشین آلات می کند:

سیلیکون: مواد نیمه هادی نیمه کریستالی و خالص برای قطعات الکترونیکی دقیق.

نیترید آلومینیوم: استحکام مکانیکی بالا همراه با هدایت حرارتی و مقاومت در برابر شوک حرارتی - مناسب برای پخش کننده های گرما و بسترهای عایق.

نیترید سیلیکون: سخت ، قابل ماشینکاری ، از نظر حرارتی پایدار است. در مواردی استفاده می شود که هم عایق الکتریکی و هم استحکام مکانیکی مورد نیاز است.

این وسعت شایستگی مواد به این معنی است که شما نیازی به واجد شرایط بودن چندین تامین کننده برای پوشش خانواده های قطعات مختلف ندارید. EMAR مواد فلزی ، پلاستیکی و سرامیکی مانند را تحت یک سیستم کیفیت مدیریت می کند.

قطعات نیمه هادی که ما تولید می کنیم در طول دهه ها با حمایت از صنعت نیمه هادی ، EMAR تقریباً هر نوع قطعه ماشینکاری شده با CNC را که در تجهیزات جلویی و پشتی یافت می شود تولید کرده است. در زیر دسته هایی وجود دارد که بخش عمده ای از تولید روزانه ما را نشان می دهد.

اجزای پردازش ویفر

قالب های پد پولیش با هندسه های سطح دقیق برای مسطح سازی CMP

چاک ها و حامل های ویفر ، ماشینکاری شده مسطح و موازی با تلورانس های تک رقمی میکرون

سرهای دوش CVD با آرایه های ریز سوراخ متراکم برای تحویل یکنواخت گاز پیش ساز

صفحات توزیع گاز و محفظه های ویفر کوچک (ماشین کاری شده بر روی سکوهای VESTA-1300)

واحدهای پردازش هادی ویفر و صفحات پردازش تراشه

مدیریت حرارتی

هیت سینک های آلومینیومی و مسی با هندسه باله های ریز

پخش کننده های حرارتی نیترید آلومینیوم برای کاربردهای با چگالی بالا

صفحات سرد مایع خنک با کانال های داخلی

تست ، بسته بندی و اتصال

سوکت های تست با آرایه های سوراخ پین پوگو بسیار دقیق ماشین کاری شده در PEEK یا PEI

حامل های تراشه و کانکتورهای با چگالی بالا با تلورانس های گام محکم

وسایل کپسوله زدایی برای قرار گرفتن در معرض تراشه مکانیکی کنترل شده بدون آسیب

پلت فرم های PCB که نیاز به برداشتن قطعات روی تخته های با ارزش بالا دارند

سازه ، جابجایی و حفاظت

براکت های جابجایی ویفر - سفت و سخت و در عین حال سبک وزن ، ماشینکاری شده از آلومینیوم با صافی سازگار با خلاء

روکش ها ، محفظه ها و سفت کننده های مدار انعطاف پذیر

شابلون ها ، واشرها ، مهر و موم ها و عایق های خمیر لحیم کاری

چاک های ویفر الکترومغناطیسی و بسترهای مدار ریز

EMAR با نگه داشتن تمام این خانواده های قطعات زیر یک سقف تولیدی واحد ، به OEM های تجهیزات یک زنجیره تامین منسجم و مقیاس پذیر می دهد که مدیریت فروشنده را ساده می کند و کیفیت ثابت را در مجموعه ها تضمین می کند.

تکمیل سطح برای اتاق تمیز و نیازهای عملکرد سطح قطعه ماشینکاری شده رابط آن با محیط فرآیند است. پرداخت اشتباه می تواند ذرات تولید کند ، آلاینده ها را به دام بیندازد یا تحت قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی تخریب شود. قابلیت های تکمیل داخلی و شریک EMAR طیف کاملی از مورد نیاز برای استفاده از نیمه هادی ها را پوشش می دهد.

آندایزاسیون و آندایزاسیون سخت: پوشش مقاوم در برابر خوردگی و غیر رسانا برای قطعات آلومینیومی. آندایزاسیون سخت مقاومت در برابر سایش عالی را برای اجزای متحرک اضافه می کند.

اکسیداسیون میکرو قوس: لایه سرامیکی مانند برای آلومینیوم ، منیزیم و تیتانیوم - ایده آل در صورت نیاز به سختی شدید و استحکام دی الکتریک.

آبکاری نیکل الکترولس: لایه یکنواخت و مقاوم در برابر خوردگی برای قطعات فولادی ، فولاد ضد زنگ ، برنج و مس که اغلب برای اتصالات پانل گاز مشخص می شود.

غیرفعال سازی: آهن آزاد را از بین می برد و مقاومت در برابر خوردگی طبیعی فولاد ضد زنگ را افزایش می دهد - یک خط پایه برای هر قطعه رو به روی فاب.

پولیش: سطوح صاف و بدون ذرات را ارائه می دهد که ذاتاً هستند cleanroom-compatible .

علامت گذاری لیزری: شناسایی دائمی بدون جوهر یا برچسبی که می تواند باعث خروج گاز یا ریختن ذرات شود.

هر پرداخت با توجه به حفظ یکپارچگی ابعادی که در ماشینکاری به دست آمده است انتخاب و اعمال می شود. هنگامی که یک قطعه تا 0.002 میلی متر نگه داشته شده است ، فرآیند پوشش نباید آن را خنثی کند.

مزیت تولید EMAR ما فقط ماشین آلات نداریم. ما اکوسیستمی را جمع آوری کرده ایم که برای کاهش خطر تامین اجزای نیمه هادی طراحی شده است.

نمونه کارها ماشین آلات هدفمند طبقه ما شامل بیش از 200 دستگاه CNC ، از جمله مراکز 5 محوره (Jingdiao ، DMG ، AFMING ، Roders) ، ماشین های تراش سوئیسی (Tsugami ، Star) و مراکز ماشینکاری عمودی سری EMAR VESTA و SIRIUS است. سکوهای VESTA-660 و VESTA-1000 + استحکام ، قابلیت اطمینان دوک و پایداری حرارتی مورد نیاز برای کار با تحمل سخت و حجم بالا را ارائه می دهند. در جایی که پیچیدگی قطعه افزایش می یابد ، ماشین های SIRIUS-UM + و UL + با زمان های چرخه حتی سریع تر و دقت دینامیکی بالاتر وارد عمل می شوند. موضوع رایج تکرارپذیری است: قطعات بریده شده در یک دستگاه با قطعات بریده شده روی دیگری ، دسته به دسته مطابقت دارند.

چارچوب تلورانس که می توانید به آن تکیه کنید ما به طور معمول ابعاد خطی را تا 0.01 میلی متر روی فلزات و 0.05 میلی متر روی پلاستیک نگه می داریم ، با بهترین ویژگی ها (قطر ، سوراخ های بحرانی ، موازی بودن) به 0.001 میلی متر تا 0.002 میلی متر می رسد. اینها اعداد نظری نیستند. آنها بر روی CMM های زایس و شش ضلعی ، سیستم های بینایی 2.5 بعدی و طیف سنج های XRF که در جریان تولید ما ادغام شده اند تأیید شده اند.

ماشینکاری آگاه از اتاق تمیز سلول های ماشینکاری با سرعت بالا خنک شده با اتانول ما برای تولید قطعاتی طراحی شده اند که تمیز و بدون باقی مانده روغنی به محل شما می رسند. این امر به ویژه برای اجزایی که برای تماس مستقیم ویفر یا محیط های خلاء در نظر گرفته شده اند بسیار مهم است.

فرآیند مهندسی شده ، نه فقط قطعات با بیش از 30 مهندس در کارکنان ، EMAR بازخورد DFM را از مرحله نقل قول ارائه می دهد. ما تلورانس ها را تجزیه و تحلیل می کنیم ، در صورت لزوم جایگزین های مواد را پیشنهاد می کنیم ، و مسیرهای ابزار را قبل از برش فلز شبیه سازی می کنیم. چه به پنج نمونه اولیه یا 500000 واحد در سال نیاز داشته باشید ، فرآیند بدون مهندسی مجدد مقیاس می شود.

لجستیک آماده جهانی با دسترسی مستقیم به بنادر اصلی حمل و نقل ، شرایط DAP یا FCA را با زمان های رقابتی ارائه می دهیم. گواهینامه ISO 9001: 2015 ما مدیریت کیفیت سیستماتیک را که زیربنای هر محموله است ، مستند می کند.

پرتقاضاترین اجزای نیمه هادی خود را به EMAR بیاورید وقتی دقت غیرقابل مذاکره است و زمان تحویل کم است ، به یک شریک ماشینکاری CNC نیاز دارید که دنیای نیمه هادی ها را از درون به بیرون درک کند. EMAR ترکیبی از ماشین های چند محوره پیشرفته ، کاتالوگ مواد عمیق ، cleanroom-compatible تکمیل ، و نظم و انضباط فرآیند برای تبدیل پیچیده ترین طرح های خود به قطعات تولید واجد شرایط - به موقع و با مشخصات.

بیایید در مورد پروژه بعدی خود بحث کنیم. برای مشاوره فنی و نقل قول با تیم مهندسی ما تماس بگیرید.

+ 86 18664342076 sales8@sjt-ic.com برای آپلود فوری RFQ از وب سایت ما دیدن کنید.