Полупроводниковые детали с ЧПУ

Цепочка поставок полупроводников зависит от одной константы: бескомпромиссной точности. Каждая пластина, головка для душа CVD, испытательная розетка или радиатор, которые входят в фабрику, должны соответствовать допускам, измеряемым однозначными микронами, и быть произведены с повторяемостью, которая выдерживает тысячи единиц. Одна несоответствующая спецификации деталь может остановить линию литографии или выбросить партию чипов стоимостью в миллионы. Это реальность, в которой EMAR работает каждый день, и именно поэтому мы построили всю нашу экосистему обработки с ЧПУ в соответствии с конкретными потребностями производителей полупроводникового оборудования.

В этой статье раскрывается полный спектр полупроводниковых деталей с ЧПУ: методы, обеспечивающие микронную точность, материалы, выдерживающие агрессивные химические и термические среды, семейства деталей, поддерживающие работу заводов, и процессы отделки, обеспечивающие совместимость в чистом помещении. Если вы ищете высокоточные полупроводниковые компоненты, вы найдете здесь подробный, технически обоснованный обзор того, как выглядит действительно мощное производство.

Императив точности в производстве полупроводниковых ManufacturingSemiconductor всегда был гонкой к бесконечно малым. Что изменилось, так это производственная инфраструктура, необходимая для его поддержки. По мере того, как закон Мура замедляется, и отрасль поворачивается к передовой упаковке, гетерогенной интеграции и все более крупным форматам пластин, механические компоненты внутри технологических инструментов просят соблюдать допуски, когда-то зарезервированные для самих чипов.

Сегодняшние тенденции только усиливают давление. Полная автоматизация означает, что модули обработки пластин и роботизированные концевые эффекторы нуждаются в функциях позиционирования, обработанных с почти нулевым отклонением. Электрификация и появление силовых устройств из карбида кремния заставляют компоненты терморегулирования проводить тепло более эффективно, чем когда-либо. Всепроникающая цифровая связь и повышенная аппаратная безопасность создают спрос на тестовые разъемы и контакторы, которые могут обрабатывать тысячи циклов вставки без ухудшения состояния. Во всех этих векторах обработка с ЧПУ является общим знаменателем, который превращает сырье в квалифицированные готовые к производству детали.

В EMAR мы подходим к работе с полупроводниками с помощью одного стандарта: если особенность можно измерить, ее необходимо контролировать. Эта философия пронизывает каждую машину, каждый процесс и каждую инспекционную процедуру на нашем этаже.

Основные методы ЧПУ для полупроводниковых ComponentsSemiconductor деталей охватывают огромный диапазон геометрий - от цилиндрических контактных пластин до крупноформатных камерных пластин с тысячами микроотверстий. EMAR использует тщательно подобранный набор возможностей ЧПУ для бескомпромиссной обработки этого разнообразия.

Фрезерование с ЧПУ (от 3 до 5 осей) Для компонентов, критически важных для плоскостности, таких как пластины, газораспределительные пластины и формы для полировальных площадок, многоосевое фрезерование обеспечивает сочетание обработки поверхности и контроля размеров, которое требуется в полупроводниковых приложениях. Наши 5-осевые обрабатывающие центры, в том числе платформы серии EMAR VESTA и платформы D2-5AX, позволяют выполнять одноустановочную обработку сложной геометрии, исключая ошибки складывания, возникающие в результате многократной фиксации. В результате получается плоскостность в пределах 0,002 мм и отделка поверхности, требующая минимальной постобработки.

Токарные и швейцарские MachiningCylindrical детали с ЧПУ - разъемы, втулки, ролики для транспортировки пластин и корпуса с пого-штифтами - производятся на наших токарных станках с ЧПУ и автоматических токарных станках швейцарского типа. Швейцарская обработка особенно ценна для деталей малого диаметра, high-length-to-diameter-ratio , распространенных в тестовых розетках и носителях чипа. Благодаря технологии скользящих головок мы держим диаметры до 0,002 мм на функциях, не превышающих вывод карандаша.

Высокоскоростные Micro-MachiningSeveral полупроводниковые компоненты, в первую очередь насадки для душа CVD и тестовые розетки, требуют узоров из сотен или тысяч крошечных отверстий, каждое с точным диаметром, положением и качеством стены. Высокоскоростные шпиндельные платформы EMAR (до 60 000 об / мин) в сочетании со сверхнизкими износостойкими держателями инструментов специально созданы для этого. Конструкция с низкой вибрацией сохраняет срок службы инструмента за счет плотных массивов отверстий из нержавеющей стали, латуни и инженерных пластмасс. Мы также используем в этих системах охлаждающую жидкость на основе этанола - полностью безмасляное решение, которое устраняет остатки и предотвращает загрязнение, делая его безопасным для чистых помещений с самого начала.

Управление процессами на основе CAD / CAM Каждая деталь начинается с 3D-модели CAD и CAM-симуляции. Прежде чем один чип будет вырезан, наши инженеры проверяют пути инструментов, прогнозируют пружинный возврат материала и проверяют зазор для микроинструментов. Этот цифровой интерфейс - это то, что позволяет нам перейти от сложной печати с допуском к части первой статьи с минимальной итерацией - критический фактор, когда время выполнения ограничено.

Материалы, которые соответствуют RequirementsSemiconductor средам Fab, химически агрессивны, термически динамичны и неустанно сосредоточены на контроле загрязнения. Материальная палитра для компонентов, обработанных на ЧПУ, должна соответствовать этим условиям.

Металлы

Алюминиевые сплавы (6061-T651, 7075-T651, 5052-T651): легкий, отличная теплопроводность и естественная коррозионная стойкость. Используется для радиаторов, кронштейнов для обработки, патронов для пластин и больших структурных корпусов.

Нержавеющая сталь (303, 304, 316, 17-4PH): высокая прочность, превосходная коррозионная стойкость и совместимость с чистыми помещениями. Развернуты в фитингах, соединителях, газовых панелях и компонентах камеры, которые должны выдерживать агрессивную химию очистки.

Титан (класс 2, класс 5): исключительное отношение прочности к весу и биосовместимость. Найдено в специализированном оборудовании для обработки пластин и medical-semiconductor кроссовера.

Медь и латунь (T2, H59, H62): высокая электрическая и теплопроводность. Необходим для контакторов, экранирования электромагнитных помех и терморегулируемых деталей. Латунь также используется для соединителей, где простота обработки и низкое трение материала.

Инженерные пластмассы

PEEK: Выдерживает постоянные рабочие температуры выше 250 ° C, противостоит практически всем технологическим химикатам и демонстрирует чрезвычайно низкий уровень выделения газов. Материал выбора для обработки пластин, изоляторов и испытательных розеток.

PTFE (тефлон): низкий коэффициент трения и универсальная химическая стойкость. Распространен в уплотнениях, прокладках и изоляционных компонентах.

Поликарбонат и делрин (POM): используется для прозрачных крышек, креплений и износостойких деталей, где необходимы диэлектрические свойства.

Специализированные полупроводниковые материалыПомимо стандартных сплавов, EMAR обычно обрабатывает субстратоподобные материалы:

Кремний: полукристаллический, чистый полупроводниковый материал для прецизионных электронных компонентов.

Нитрид алюминия: высокая механическая прочность в сочетании с теплопроводностью и устойчивостью к тепловому удару - идеально подходит для разбрасывателей тепла и изолирующих подложек.

Нитрид кремния: Жесткий, обрабатываемый, термически стабильный. Используется там, где требуется как электрическая изоляция, так и механическая прочность.

Такая широта компетенции материалов означает, что вам не нужно квалифицировать нескольких поставщиков для покрытия различных семейств деталей. EMAR обрабатывает металлические, пластиковые и керамические материалы в рамках одной системы качества.

Полупроводниковые детали, которые мы производимЗа десятилетия поддержки полупроводниковой промышленности EMAR произвела практически все типы компонентов с ЧПУ, встречающиеся в интерфейсном и серверном оборудовании. Ниже приведены категории, которые представляют основную часть нашей ежедневной продукции.

компоненты обработки пластин

Формы для полировальных площадок с точной геометрией поверхности для CMP-планаризации

Вафельные патроны и держатели, обработанные плоско и параллельно однозначным микронным допускам

Душевые головки CVD с плотными массивами микроотверстий для равномерной доставки газа-прекурсора

Газораспределительные пластины и небольшие вафельные камеры (на платформах VESTA-1300)

Устройства обработки пластин и пластин для обработки кристаллов

Термическое управление

Алюминиевые и медные радиаторы с тонкой геометрией плавников

Термические разбрасыватели нитрида алюминия для применений с высокой плотностью мощности

Холодильные плиты жидкостного охлаждения с внутренними каналами

Тестирование, упаковка и межсоединение

Тестовые розетки с ультраточными массивами отверстий pogo-pin, обработанными в PEEK или PEI

Чип-носители и разъемы высокой плотности с жесткими допусками по тангажу

Декапсулирующие приспособления для контролируемого механического воздействия на чип без повреждений

Платформы для переработки печатных плат, требующие хирургического удаления компонентов на дорогостоящих платах

Структурные, обработка и защита

Кронштейны для обработки пластин - жесткие, но легкие, обработанные из алюминия с вакуумной плоскостностью

Корпуса, корпуса и ребра жесткости гибкой схемы

Трафареты паяльной пасты, прокладки, уплотнения и изоляторы

Электромагнитные пластины и подложки тонкой цепи

Сохраняя все эти семейства деталей под единой производственной крышей, EMAR предоставляет OEM-производителям оборудования согласованную масштабируемую цепочку поставок, которая упрощает управление поставщиками и обеспечивает стабильное качество сборки.

Отделка поверхности для требований чистоты и производительности. Поверхность обработанной детали является интерфейсом с технологической средой. Неправильная отделка может генерировать частицы, улавливать загрязняющие вещества или деградировать под химическим воздействием. Собственные и партнерские отделочные возможности EMAR охватывают весь диапазон, необходимый для использования полупроводников.

Анодирование и твердое анодирование: коррозионностойкое, непроводящее покрытие для алюминиевых деталей. Твердое анодирование добавляет превосходную износостойкость для движущихся компонентов.

Микродуговое окисление: керамический слой для алюминия, магния и титана - идеально подходит, когда необходимы экстремальная твердость и диэлектрическая прочность.

Электролитическое никелирование: однородный, коррозионно-стойкий слой для стальных, нержавеющих, латунных и медных компонентов, часто предназначенный для фитингов газовых панелей.

Пассивация: удаляет свободное железо и повышает естественную коррозионную стойкость нержавеющей стали - основа для любой детали, обращенной к пластине.

Полировка: обеспечивает гладкие, свободные от частиц поверхности, которые по своей сути cleanroom-compatible.

Лазерная маркировка: постоянная идентификация без чернил или этикеток, которые могут выделяться или терять частицы.

Каждая отделка выбирается и наносится с прицелом на поддержание целостности размеров, достигнутой при механической обработке. Когда деталь удерживается до 0,002 мм, процесс нанесения покрытия не должен отменять ее.

Производственное преимущество EMAR У нас есть не только машины. Мы собрали экосистему, предназначенную для снижения риска поиска полупроводниковых компонентов.

Портфель специально изготовленных станковНаш пол включает в себя более 200 станков с ЧПУ, в том числе 5-осевые центры (Jingdiao, DMG, AFMING, Roders), токарные станки швейцарского типа (Tsugami, Star) и наши запатентованные вертикальные обрабатывающие центры серии EMAR VESTA и SIRIUS. Платформы VESTA-660 и VESTA-1000 + обеспечивают жесткость, надежность шпинделя и термическую стабильность, необходимые для высокопроизводительной работы. Там, где сложность деталей возрастает, станки SIRIUS-UM + и UL + вступают в игру с еще более быстрым временем цикла и более высокой динамической точностью. Общая резьба - повторяемость: детали, вырезанные на одной машине, соответствуют деталям, вырезанным на другой, партия за партией.

Толерантность, на которую вы можете положиться Мы обычно придерживаемся линейных размеров до 0,01 мм на металлах и 0,05 мм на пластмассах, с лучшими характеристиками (диаметры, критические отверстия, параллелизм), достигающими от 0,001 мм до 0,002 мм. Это не теоретические цифры; они проверяются на CMM Zeiss и Hexagon, системах видения 2.5D и рентгеновских спектрометрах, интегрированных в наш производственный процесс.

Обработка в чистых помещениях Наши высокоскоростные обрабатывающие ячейки с этаноловым охлаждением предназначены для производства деталей, которые поступают на ваше предприятие чистыми, без маслянистых остатков. Это особенно важно для компонентов, предназначенных для непосредственного контакта с пластинами или вакуумных сред.

Инженерный процесс, а не просто частиС более чем 30 инженерами в штате EMAR обеспечивает обратную связь DFM на этапе цитирования. Мы анализируем допуски, при необходимости предлагаем альтернативные материалы и имитируем траектории инструментов до резки металла. Независимо от того, нужны ли вам пять прототипов или 500 000 единиц в год, процесс масштабируется без реинжиниринга.

Global-Ready LogisticsРасположенный с прямым доступом к основным морским портам, мы поставляем на условиях DAP или FCA с конкурентными сроками выполнения. Наша сертификация ISO 9001: 2015 документирует систематическое управление качеством, лежащее в основе каждой перевозки.

Принесите свои самые требовательные полупроводниковые компоненты в EMAR. Когда точность не подлежит обсуждению, а время выполнения ограничено, вам нужен партнер по обработке с ЧПУ, который понимает полупроводниковый мир изнутри. EMAR сочетает в себе передовые многоосевые станки, глубокий каталог материалов, cleanroom-compatible отделку и дисциплину процесса, чтобы превратить ваши самые сложные конструкции в квалифицированные производственные детали - вовремя и по спецификациям.

Давайте обсудим ваш следующий проект. Свяжитесь с нашей командой инженеров для технической консультации и цитаты.

+ 86 18664342076 sales8@sjt-ic.com Посетите наш веб-сайт для мгновенной загрузки RFQ.