Polovodičové diely CNC obrábanie

Polovodičový dodávateľský reťazec závisí od jednej konštanty: nekompromisnej presnosti. Každé oblátkové skľučovadlo, CVD sprchová hlavica, testovacia zásuvka alebo chladič, ktorý vstupuje do fab, musí spĺňať tolerancie merané v jednociferných mikrónoch a musí byť vyrobený s opakovateľnosťou, ktorá sa drží tisícov jednotiek. Jediná časť mimo špecifikácie môže zastaviť litografickú linku alebo zošrotovať dávku čipov v hodnote miliónov. To je realita, ktorú EMAR funguje každý deň - a preto sme celý náš ekosystém CNC obrábania postavili na špecifických potrebách výrobcov polovodičových zariadení.

Tento článok rozbaľuje celé spektrum CNC obrábania polovodičových dielov: techniky, ktoré poskytujú presnosť na úrovni mikrónov, materiály, ktoré prežijú agresívne chemické a tepelné prostredie, rodiny dielov, ktoré udržujú beh fabov, a dokončovacie procesy, ktoré zabezpečujú kompatibilitu čistých priestorov. Ak získavate vysoko presné polovodičové komponenty, nájdete tu podrobný, technicky podložený prehľad toho, ako vyzerá skutočne schopná výroba.

Presný imperatív pri výrobe polovodičManufacturingSemiconductor bol vždy závodom smerom k nekonečne malému. Čo sa zmenilo, je výrobná infraštruktúra potrebná na jeho podporu. Keď sa Moorov zákon spomalí a priemysel sa otočí k pokročilému baleniu, heterogénnej integrácii a čoraz väčším formátom oblátok, od mechanických komponentov vo vnútri procesných nástrojov sa vyžaduje, aby dodržiavali tolerancie, ktoré sú vyhradené pre samotné čipy.

Dnešné trendy iba zosilňujú tlak. Plná automatizácia znamená, že oblátkové manipulačné moduly a robotické koncové efektory potrebujú polohovacie prvky obrábané na takmer nulovú odchýlku. Elektrifikácia a nárast energetických zariadení z karbidu kremíka tlačia komponenty tepelného riadenia na efektívnejšie vedenie tepla ako kedykoľvek predtým. Všadeprítomná digitálna konektivita a zvýšená hardvérová bezpečnosť vytvárajú dopyt po testovacích zásuvkách a stýkačoch, ktoré dokážu zvládnuť tisíce vkladacích cyklov bez degradácie. Vo všetkých týchto vektoroch je CNC obrábanie spoločným menovateľom, ktorý transformuje surové zásoby na kvalifikované diely pripravené na výrobu.

V spoločnosti EMAR pristupujeme k polovodičovým prácam s jediným štandardom: ak je možné funkciu merať, musí sa ovládať. Táto filozofia prechádza každým strojom, každým procesom a každou inšpekčnou rutinou na našej podlahe.

Základné CNC techniky pre polovodičovéComponentsSemiconductor diely pokrývajú obrovskú škálu geometrií - od valcových transportných kolíkov po veľkoformátové komorové dosky s tisíckami mikrootvorov. EMAR nasadzuje starostlivo prispôsobenú sadu CNC schopností na zvládnutie tejto rozmanitosti bez kompromisov.

CNC frézovanie (3-osové až 5-osové) Pre komponenty kritické pre rovinnosť, ako sú oblátkové skľučovadlá, plynové rozvodné dosky a formy na leštiace podložky, viacosové frézovanie poskytuje kombináciu povrchovej úpravy a rozmerovej kontroly, ktorú vyžadujú polovodičové aplikácie. Naše 5-osové obrábacie centrá, vrátane platforiem EMAR VESTA Series a D2-5AX, umožňujú jednorazové obrábanie zložitých geometrií, čo eliminuje chyby stohovania, ktoré pochádzajú z viacnásobného upevnenia. Výsledkom je rovinnosť do 0,002 mm a povrchové úpravy, ktoré vyžadujú minimálne následné spracovanie.

CNC sústruženie a SwissMachiningCylindrical diely - konektory, puzdrá, oblátkové transportné valce a puzdrá pogo pin - sa vyrábajú na našich CNC sústruhoch a automatických sústruhoch švajčiarskeho typu. Švajčiarske obrábanie je obzvlášť cenné pre malé priemery ,high-length-to-diameter-ratio diely bežné v testovacích zásuvkách a nosičoch čipov. S technológiou posuvných vreteníkov držíme priemery do 0,002 mm na prvkoch, ktoré nie sú väčšie ako ceruzka.

VysokorýchlostnéMicro-MachiningSeveral polovodičové komponenty, predovšetkým CVD sprchové hlavice a testovacie zásuvky, vyžadujú vzory stoviek alebo tisícov drobných otvorov, z ktorých každý má presný priemer, polohu a kvalitu steny. Vysokorýchlostné vretenové platformy EMAR (až do 60 000 otáčok za minútu) spárované s ultra-nízkymi držiakmi nástrojov sú na to určené. Nízko vibračný dizajn zachováva životnosť nástroja nad hustými poľami otvorov v nehrdzavejúcej oceli, mosadze a technických plastoch. Na tieto systémy tiež používame chladiacu kvapalinu na báze etanolu - úplne bezolejové riešenie, ktoré eliminuje zvyšky a zabraňuje kontaminácii, vďaka čomu je od začiatku šetrné k čistým priestorom.

CAD / CAM-Driven Process ControlKaždá časť začína modelom 3D CAD a simuláciou CAM. Pred rezaním jedného čipu naši technici overujú dráhy nástrojov, predpovedajú pružnosť materiálu a overujú vôľu mikro nástrojov. Toto digitálne rozhranie je to, čo nám umožňuje prejsť od zložitej tolerovanej tlače k časti prvého článku s minimálnou iteráciou - kritickým faktorom, keď sú dodacie lehoty krátke.

Materiály, ktoré spĺňajú FabRequirementsSemiconductor prostredia sú chemicky agresívne, tepelne dynamické a neúnavne zamerané na kontrolu kontaminácie. Paleta materiálov pre komponenty obrábané CNC musí zodpovedať týmto podmienkam.

Kovy

Hliníkové zliatiny (6061-T651, 7075-T651, 5052-T651): Ľahká, vynikajúca tepelná vodivosť a prirodzene odolná proti korózii. Používa sa na chladiče, manipulačné konzoly, oblátkové skľučovadlá a veľké konštrukčné kryty.

Nerezová oceľ (303, 304, 316, 17-4PH): Vysoká pevnosť, vynikajúca odolnosť proti korózii a kompatibilita čistých priestorov. Nasadené do armatúr, konektorov, plynových panelov a komponentov komory, ktoré musia odolávať agresívnym čistiacim chemikáliám.

Titán (stupeň 2, stupeň 5): Výnimočný pomer pevnosti a hmotnosti a biokompatibilita. Nachádza sa v špecializovaných zariadeniach na manipuláciu s oblátkami amedical-semiconductor crossover.

Meď a mosadz (T2, H59, H62): Vysoká elektrická a tepelná vodivosť. Nevyhnutné pre stýkače, tienenie EMI a časti tepelného riadenia. Mosadz sa tiež používa pre konektory, kde je ľahké obrábanie a nízke trenie.

Inžinierske plasty

PEEK: Odoláva nepretržitým prevádzkovým teplotám nad 250 ° C, odoláva prakticky všetkým procesným chemikáliám a vykazuje extrémne nízke odplynenie. Materiál podľa výberu pre manipuláciu s oblátkami, izolátory a testovacie zásuvky.

PTFE (teflón): Nízky koeficient trenia a univerzálna chemická odolnosť. Bežné v tesneniach, tesneniach a izolačných komponentoch.

Polykarbonát a delrin (POM): Používa sa na priehľadné kryty, armatúry a diely odolné proti opotrebovaniu, kde sú potrebné dielektrické vlastnosti.

Špecializované polovodičové materiály Okrem štandardných zliatin EMAR bežne obrába materiály podobné substrátu:

Kremík: Polokryštalický, čistý polovodičový materiál pre presné elektronické súčiastky.

Nitrid hliníka: Vysoká mechanická pevnosť v kombinácii s tepelnou vodivosťou a odolnosťou proti tepelným šokom - ideálne pre rozdeľovače tepla a izolačné podklady.

Nitrid kremíka: Tvrdý, obrábateľný, tepelne stabilný. Používa sa tam, kde je potrebná elektrická izolácia aj mechanická odolnosť.

Táto šírka materiálových kompetencií znamená, že nemusíte kvalifikovať viacerých dodávateľov, aby ste pokryli rôzne rodiny dielov. EMAR manipuluje s kovovými, plastovými a keramickými materiálmi v rámci jedného systému kvality.

Polovodičové diely, ktoré vyrábameV priebehu desaťročí, ktoré podporujú polovodičový priemysel, spoločnosť EMAR vyrobila prakticky všetky typy CNC obrábaných komponentov, ktoré sa nachádzajú v predných a zadných zariadeniach. Nižšie sú uvedené kategórie, ktoré predstavujú väčšinu našej dennej produkcie.

Komponenty na spracovanie oblátok

Formy na leštenie podložiek s presnými povrchovými geometriami pre planarizáciu CMP

Oblátkové skľučovadlá a nosiče, opracované na plocho a paralelne s jednocifernými toleranciami mikrónov

CVD sprchové hlavice s hustými mikrootvormi pre rovnomerné dodávanie prekurzorového plynu

Plynové rozvodné dosky a malé doštičkové komory (opracované na platformách VESTA-1300)

Oblátkové jednotky na spracovanie vodičov a dosky na spracovanie čipov

Tepelné riadenie

Hliníkové a medené chladiče s geometriou jemných rebier

Tepelné rozdeľovače nitridu hliníka pre aplikácie s vysokou hustotou výkonu

Kvapalinou chladené studené platne s vnútornými kanálmi

Testovanie, balenie a prepojenie

Testovacie zásuvky s ultra presnými poliami otvorov pogo-pin obrábanými v PEEK alebo PEI

Nosiče čipov a konektory s vysokou hustotou s malými toleranciami stúpania

Dekapsulačné prípravky na riadené vystavenie mechanickým trieskam bez poškodenia

Platformy na prepracovanie dosiek plošných spojov vyžadujúce chirurgické odstránenie komponentov na doskách vysokej hodnoty

Štrukturálne, manipulačné a ochranné

Konzoly na manipuláciu s oblátkami - tuhé, ale ľahké, vyrobené z hliníka s vákuovo priateľskou rovinnosťou

Púzdra, kryty a výstuhy ohybných obvodov

Šablóny, tesnenia, tesnenia a izolátory spájkovacej pasty

Elektromagnetické oblátkové skľučovadlá a substráty obvodov tenkého vedenia

Udržiavaním všetkých týchto skupín dielov pod jednou výrobnou strechou dáva spoločnosť EMAR výrobcom zariadení koherentný a škálovateľný dodávateľský reťazec, ktorý zjednodušuje správu dodávateľov a zaisťuje konzistentnú kvalitu naprieč zostavami.

Povrchové úpravy pre požiadavky na čistú miestnosť a výkon Povrch opracovanej časti je jej rozhraním s procesným prostredím. Nesprávna povrchová úprava môže pri chemickej expozícii generovať častice, zachytávať kontaminanty alebo sa degradovať. Vlastné a partnerské dokončovacie schopnosti spoločnosti EMAR pokrývajú celý rozsah potrebný na použitie polovodičov.

Eloxovanie a tvrdé eloxovanie: Nevodivý náter hliníkových dielov odolný voči korózii. Tvrdé eloxovanie dodáva vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu pohyblivých komponentov.

Oxidácia mikrooblúkom: Keramická vrstva pre hliník, horčík a titán - ideálna v prípade potreby extrémnej tvrdosti a dielektrickej pevnosti.

Elektrolytické pokovovanie niklom: Jednotná vrstva odolná proti korózii pre komponenty z ocele, nehrdzavejúcej ocele, mosadze a medi, často špecifikovaná pre armatúry plynových panelov.

Pasivácia: Odstraňuje voľné železo a zvyšuje prirodzenú odolnosť proti korózii nehrdzavejúcej ocele - základ pre každú časť orientovanú na fab.

Leštenie: Poskytuje hladké povrchy bez častíc, ktoré sú vo svojej podstatecleanroom-compatible.

Laserové značenie: Trvalá identifikácia bez atramentov alebo štítkov, ktoré by mohli odplyňovať alebo vylučovať častice.

Každá povrchová úprava je vybraná a aplikovaná s ohľadom na zachovanie rozmerovej integrity, ktorá bola dosiahnutá pri obrábaní. Keď je časť držaná na 0,002 mm, proces poťahovania ju nesmie vrátiť späť.

Výhoda výroby EMAR Nevlastníme iba stroje. Zostavili sme ekosystém, ktorý je navrhnutý tak, aby znižoval riziko získavania polovodičových komponentov.

Purpose-Built Machine PortfolioNaša podlaha zahŕňa viac ako 200 CNC strojov, medzi nimi 5-osové stredy (Jingdiao, DMG, AFMING, Roders), sústruhy švajčiarskeho typu (Tsugami, Star) a naše vlastné vertikálne obrábacie centrá série EMAR VESTA a SIRIUS. Platformy VESTA-660 a VESTA-1000 + poskytujú tuhosť, spoľahlivosť vretena a tepelnú stabilitu potrebnú pre úzku toleranciu, prácu s veľkým objemom. Tam, kde sa zložitosť častí stupňuje, stroje SIRIUS-UM + a UL + zakročujú s ešte rýchlejšími časmi cyklu a vyššou dynamickou presnosťou. Spoločným vláknom je: opakovateľnosť rezov častí na jednej časti sa zhoduje so strojom na druhej dávke po druhej.

Tolerančný rámec, na ktorý sa môžete spoľahnúť Bežne držíme lineárne rozmery na 0,01 mm na kovoch a 0,05 mm na plastoch, pričom najlepšie vlastnosti (priemery, kritické otvory, paralelnosť) dosahujú 0,001 mm až 0,002 mm. Toto nie sú teoretické čísla; sú overené na Zeiss a Hexagon CMM, 2,5D vidiacich systémoch a XRF spektrometroch integrovaných do nášho výrobného toku.

Naše vysokorýchlostné obrábacie články chladené etanolom sú navrhnuté tak, aby vyrábali diely, ktoré dorazia do vášho zariadenia čisté, bez olejových zvyškov. To je obzvlášť dôležité pre komponenty určené pre priamy kontakt s oblátkami alebo pre vákuové prostredie.

Skonštruovaný proces, nielen diely S viac ako 30 inžiniermi na zamestnancoch poskytuje EMAR spätnú väzbu DFM z fázy citovania. Analyzujeme tolerancie, navrhujeme materiálové alternatívy, kde je to vhodné, a simulujeme dráhy nástrojov pred rezaním kovu. Či už potrebujete päť prototypov alebo 500 000 kusov ročne, proces sa škáluje bez re-inžinierstva.

Global-Ready LogisticsLocated s priamym prístupom k hlavným prepravným prístavom, dodávame na DAP alebo FCA podmienky s konkurenčnými dodacími lehotami. Naša certifikácia ISO 9001: 2015 dokumentuje systematické riadenie kvality, ktoré je základom každej zásielky.

Prineste svoje najnáročnejšie polovodičové komponenty na EMARKeď je presnosť neobchodovateľná a dodacie lehoty sú krátke, potrebujete partnera pre CNC obrábanie, ktorý rozumie polovodičovému svetu zvnútra von. EMAR kombinuje pokročilé viacosové stroje, hlboký katalóg materiálov ,cleanroom-compatible dokončovacie práce a procesnú disciplínu, aby sa vaše najkomplexnejšie návrhy stali kvalifikovanými výrobnými dielmi - včas a podľa špecifikácií.

Poďme diskutovať o vašom ďalšom projekte. Požiadajte náš technický tím o technickú konzultáciu a cenovú ponuku.

+ 86 18664342076sales8@sjt-ic.com Navštívte naše webové stránky pre okamžité RFQ nahrávanie.