ชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ CNC การตัดเฉือน

ห่วงโซ่อุปทานเซมิคอนดักเตอร์ขึ้นอยู่กับค่าคงที่เดียว: ความแม่นยำที่ไม่ยอมแพ้ หัวจับเวเฟอร์ทุกหัวฝักบัว CVD ซ็อกเก็ตทดสอบหรือฮีตซิงก์ที่เข้าสู่ fab จะต้องตอบสนองความคลาดเคลื่อนที่วัดได้ในไมครอนหลักเดียวและผลิตด้วยความสามารถในการทำซ้ำที่ถือได้หลายพันหน่วย ส่วนที่ไม่สเปคเดียวสามารถนำสายการพิมพ์หินมาหยุดหรือทิ้งชิปชุดหนึ่งมูลค่าหลายล้าน นั่นคือความจริงที่ EMAR ดำเนินการในทุกวัน - และนั่นคือเหตุผลที่เราได้สร้างระบบนิเวศการตัดเฉือน CNC ทั้งหมดของเราตามความต้องการเฉพาะของผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

บทความนี้เปิดเผยสเปกตรัมเต็มรูปแบบของการตัดเฉือน CNC ชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์: เทคนิคที่ให้ความแม่นยำระดับไมครอน วัสดุที่รอดชีวิตจากสภาพแวดล้อมทางเคมีและความร้อนที่ก้าวร้าว ตระกูลชิ้นส่วนที่ทำให้ผ้าทำงานและกระบวนการตกแต่งที่รับประกันความเข้ากันได้ของคลีนรูม หากคุณกำลังจัดหาส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูงคุณจะพบภาพรวมที่มีรายละเอียดและมีพื้นฐานทางเทคนิคของการผลิตที่มีความสามารถอย่างแท้จริง

ความจำเป็นที่แม่นยำในการผลิตManufacturingSemiconductorเซมิคอนดักเตอร์เป็นการแข่งขันที่มีขนาดเล็กที่สุด สิ่งที่เปลี่ยนแปลงไปคือโครงสร้างพื้นฐานการผลิตที่จำเป็นในการสนับสนุน เมื่อกฎของมัวร์ช้าลงและอุตสาหกรรมหมุนไปที่บรรจุภัณฑ์ขั้นสูงการรวมที่แตกต่างกันและรูปแบบเวเฟอร์ที่ใหญ่ขึ้นเรื่อย ๆ ส่วนประกอบเชิงกลภายในเครื่องมือกระบวนการจะถูกขอให้รักษาความคลาดเคลื่อนเมื่อสงวนไว้สำหรับชิปเอง

แนวโน้มของวันนี้จะขยายความดันเท่านั้น ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบหมายถึงโมดูลการจัดการเวเฟอร์และเอฟเฟกต์ปลายหุ่นยนต์ต้องการคุณสมบัติการวางตำแหน่งที่กลึงให้มีการเบี่ยงเบนใกล้ศูนย์ การใช้พลังงานไฟฟ้าและการเพิ่มขึ้นของอุปกรณ์ไฟฟ้าซิลิกอนคาร์ไบด์ผลักดันส่วนประกอบการจัดการความร้อนเพื่อนำความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้นกว่าเดิม การเชื่อมต่อดิจิตอลที่แพร่หลายและความปลอดภัยของฮาร์ดแวร์ที่เพิ่มสูงขึ้นสร้างความต้องการสำหรับซ็อกเก็ตทดสอบและคอนแทคเตอร์ที่สามารถจัดการกับรอบการแทรกหลายพันรอบโดยไม่ย่อยสลาย ในทุกเวกเตอร์เหล่านี้การตัดเฉือน CNC เป็นตัวหารร่วมที่เปลี่ยนสต็อกดิบเป็นชิ้นส่วนที่มีคุณสมบัติพร้อมสำหรับการผลิต

ที่ EMAR เราเข้าใกล้งานเซมิคอนดักเตอร์ด้วยมาตรฐานเดียว: หากสามารถวัดคุณสมบัติได้จะต้องมีการควบคุม ปรัชญานั้นไหลผ่านทุกเครื่องทุกกระบวนการและทุกกิจวัตรการตรวจสอบบนพื้นของเรา

เทคนิค CNC หลักสำหรับชิ้นส่วนComponentsSemiconductorเซมิคอนดักเตอร์ครอบคลุมรูปทรงเรขาคณิตที่หลากหลาย ตั้งแต่หมุดขนส่งเวเฟอร์ทรงกระบอกไปจนถึงแผ่นแชมเบอร์ขนาดใหญ่ที่มีรูไมโครหลายพันรู EMAR ปรับใช้ชุดความสามารถ CNC ที่เข้าคู่กันอย่างระมัดระวังเพื่อจัดการกับความหลากหลายนั้นโดยไม่ประนีประนอม

การกัด CNC (3 แกนถึง 5 แกน) สำหรับส่วนประกอบที่มีความสำคัญต่อความเรียบ เช่น หัวจับเวเฟอร์ แผ่นกระจายก๊าซ และแม่พิมพ์แผ่นขัด การกัดแบบหลายแกนให้การผสมผสานระหว่างการตกแต่งพื้นผิวและการควบคุมมิติที่การใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ต้องการ ศูนย์เครื่องจักรกล 5 แกนของเรา รวมถึงแพลตฟอร์ม EMAR VESTA Series และ D2-5AX ช่วยให้การตัดเฉือนแบบติดตั้งครั้งเดียวของรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อน ขจัดข้อผิดพลาดในการซ้อนที่มาจากการตรึงหลายแบบ ผลที่ได้คือความเรียบภายใน 0.002 มม. และการตกแต่งพื้นผิวที่ต้องการการประมวลผลหลังการประมวลผลน้อยที่สุด

การกลึง CNC และชิ้นส่วนMachiningCylindricalสวิส - ตัวเชื่อมต่อ บูช ลูกกลิ้งขนส่งเวเฟอร์และตัวเรือน pogo pin - ผลิตบนเครื่องกลึง CNC ของเราและเครื่องกลึงอัตโนมัติประเภทสวิส การตัดเฉือนสวิสมีค่าอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนhigh-length-to-diameter-ratioขนาดเล็กที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางทั่วไปในซ็อกเก็ตทดสอบและผู้ให้บริการชิป ด้วยเทคโนโลยี headstock แบบเลื่อนเราถือเส้นผ่านศูนย์กลางถึง 0.002 มม. บนคุณสมบัติไม่ใหญ่กว่าไส้ดินสอ

ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์Micro-MachiningSeveralความเร็วสูง โดยเฉพาะหัวฝักบัว CVD และเต้ารับทดสอบ ต้องใช้รูปแบบของรูเล็กๆ หลายร้อยหรือหลายพันรู โดยแต่ละรูมีเส้นผ่านศูนย์กลาง ตำแหน่ง และคุณภาพของผนังที่แม่นยำ แพลตฟอร์มแกนหมุนความเร็วสูงของ EMAR (สูงสุด 60,000 รอบต่อนาที) ที่จับคู่กับตัวยึดเครื่องมือที่วิ่งต่ำเป็นพิเศษนั้นสร้างขึ้นโดยมีวัตถุประสงค์เพื่อสิ่งนี้ การออกแบบที่มีการสั่นสะเทือนต่ำช่วยรักษาอายุการใช้งานของเครื่องมือเหนืออาร์เรย์รูหนาแน่นในสแตนเลส ทองเหลือง และพลาสติกวิศวกรรม นอกจากนี้เรายังใช้สารหล่อเย็นที่ใช้เอทานอลในระบบเหล่านี้ ซึ่งเป็นสารละลายที่ปราศจากน้ำมันอย่างสมบูรณ์ซึ่งช่วยขจัดสิ่งตกค้างและป้องกันการปนเปื้อน ทำให้เป็นมิตรกับห้องสะอาดตั้งแต่เริ่มต้น

การควบคุมกระบวนการที่ขับเคลื่อนด้วย CAD / CAM ทุกส่วนเริ่มต้นด้วยโมเดล CAD 3D และการจำลอง CAM ก่อนที่จะตัดชิปตัวเดียววิศวกรของเราจะตรวจสอบเส้นทางเครื่องมือทำนายสปริงแบ็คของวัสดุและตรวจสอบการกวาดล้างสำหรับเครื่องมือขนาดเล็ก ส่วนหน้าแบบดิจิตอลนี้เป็นสิ่งที่ช่วยให้เราสามารถเปลี่ยนจากการพิมพ์ที่ซับซ้อนและทนทานไปเป็นส่วนบทความแรกที่มีการทำซ้ำน้อยที่สุด - ปัจจัยสำคัญเมื่อเวลานำแน่น

วัสดุที่พบกับสภาพแวดล้อมRequirementsSemiconductor Fab มีความก้าวร้าวทางเคมี ไดนามิกทางความร้อน และเน้นที่การควบคุมการปนเปื้อนอย่างไม่ลดละ จานสีวัสดุสำหรับส่วนประกอบที่กลึงด้วย CNC จะต้องตรงกับเงื่อนไขเหล่านั้น

โลหะ

โลหะผสมอลูมิเนียม (6061-T651 7075-T651 5052-T651): น้ำหนักเบา การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม และทนต่อการกัดกร่อนตามธรรมชาติ ใช้สำหรับอ่างความร้อน ขายึด หัวจับเวเฟอร์ และตัวเรือนโครงสร้างขนาดใหญ่

สแตนเลส (303 304 316 17-4PH): มีความแข็งแรงสูง ทนต่อการกัดกร่อนที่เหนือกว่า และความเข้ากันได้ของคลีนรูม ปรับใช้ในอุปกรณ์ ขั้วต่อ แผงแก๊ส และส่วนประกอบของห้องที่ต้องทนต่อสารเคมีทำความสะอาดที่ก้าวร้าว

ไททาเนียม (เกรด 2 เกรด 5): อัตราส่วนความแข็งแรงต่อน้ำหนักที่ยอดเยี่ยมและความเข้ากันได้ทางชีวภาพ พบได้ในการจัดการเวเฟอร์เฉพาะและอุปกรณ์ครอสโอเวอร์medical-semiconductor

ทองแดงและทองเหลือง (T2 H59 H62): การนำไฟฟ้าและความร้อนสูง จำเป็นสำหรับคอนแทคเตอร์ การป้องกัน EMI และชิ้นส่วนการจัดการความร้อน ทองเหลืองยังใช้สำหรับขั้วต่อที่ง่ายต่อการตัดเฉือนและสสารแรงเสียดทานต่ำ

พลาสติกวิศวกรรม

พีค: ทนต่ออุณหภูมิบริการต่อเนื่องที่สูงกว่า 250 องศาเซลเซียส ต้านทานสารเคมีในกระบวนการแทบทั้งหมด และแสดงการปล่อยก๊าซออกที่ต่ำมาก วัสดุทางเลือกสำหรับการจัดการเวเฟอร์ ฉนวน และซ็อกเก็ตทดสอบ

PTFE (เทฟลอน): ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำและทนต่อสารเคมีสากล พบได้ทั่วไปในซีล ปะเก็น และส่วนประกอบฉนวน

โพลีคาร์บอเนตและเดลริน (POM): ใช้สำหรับฝาครอบโปร่งใส อุปกรณ์ติดตั้ง และชิ้นส่วนที่ทนต่อการสึกหรอซึ่งจำเป็นต้องมีคุณสมบัติไดอิเล็กทริก

วัสดุเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทาง นอกเหนือจากโลหะผสมมาตรฐานแล้ว EMAR มักใช้วัสดุคล้ายพื้นผิวของเครื่องจักร:

ซิลิคอน: วัสดุเซมิคอนดักเตอร์กึ่งผลึกบริสุทธิ์สำหรับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำ

อะลูมิเนียมไนไตรด์: ความแข็งแรงทางกลสูงรวมกับการนำความร้อนและความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อน - เหมาะสำหรับเครื่องกระจายความร้อนและพื้นผิวที่เป็นฉนวน

ซิลิคอนไนไตรด์: เหนียว กลึงได้ เสถียรทางความร้อน ใช้ในที่ที่ต้องการทั้งฉนวนไฟฟ้าและความทนทานทางกล

ความสามารถด้านวัสดุที่หลากหลายนี้หมายความว่าคุณไม่จำเป็นต้องมีคุณสมบัติซัพพลายเออร์หลายรายเพื่อให้ครอบคลุมตระกูลส่วนต่าง ๆ EMAR จัดการวัสดุที่เป็นโลหะพลาสติกและเซรามิกภายใต้ระบบคุณภาพเดียว

ชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่เราผลิตกว่าทศวรรษที่สนับสนุนอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ EMAR ได้ผลิตส่วนประกอบกลึง CNC แทบทุกประเภทที่พบในอุปกรณ์ส่วนหน้าและส่วนหลัง ด้านล่างนี้เป็นหมวดหมู่ที่แสดงถึงผลผลิตรายวันของเราจำนวนมาก

ส่วนประกอบการประมวลผลเวเฟอร์

แม่พิมพ์แผ่นขัดที่มีรูปทรงพื้นผิวที่แม่นยำสำหรับการทำให้เป็นระนาบ CMP

หัวจับเวเฟอร์และพาหะกลึงแบนและขนานกับความคลาดเคลื่อนไมครอนหลักเดียว

หัวฝักบัว CVD พร้อมอาร์เรย์ไมโครรูหนาแน่นสำหรับการจัดส่งก๊าซสารตั้งต้นที่สม่ำเสมอ

แผ่นกระจายก๊าซและห้องเวเฟอร์ขนาดเล็ก (กลึงบนแพลตฟอร์ม VESTA-1300)

หน่วยประมวลผลตัวนำเวเฟอร์และแผ่นแปรรูปชิป

การจัดการความร้อน

ฮีตซิงก์อะลูมิเนียมและทองแดงที่มีรูปทรงครีบละเอียด

ตัวกระจายความร้อนอลูมิเนียมไนไตรด์สำหรับการใช้งานที่มีความหนาแน่นพลังงานสูง

แผ่นเย็นระบายความร้อนด้วยของเหลวพร้อมช่องภายใน

ทดสอบ บรรจุภัณฑ์ และเชื่อมต่อถึงกัน

ซ็อกเก็ตทดสอบที่มีอาร์เรย์รู pogo-pin ที่แม่นยำเป็นพิเศษกลึงใน PEEK หรือ PEI

ผู้ให้บริการชิปและขั้วต่อความหนาแน่นสูงที่มีความคลาดเคลื่อนระดับเสียงแน่น

อุปกรณ์ติดตั้งการแยกสำหรับการสัมผัสชิปแบบกลไกควบคุมโดยไม่มีความเสียหาย

แพลตฟอร์มการทำใหม่ PCB ที่ต้องการการผ่าตัดถอดส่วนประกอบบนกระดานที่มีมูลค่าสูง

โครงสร้าง การจัดการ และการป้องกัน

ขายึดเวเฟอร์ - แข็งแต่น้ำหนักเบา กลึงจากอลูมิเนียมที่มีความเรียบที่เป็นมิตรกับสุญญากาศ

ปลอก เปลือก และตัวแข็งทื่อวงจรแบบยืดหยุ่น

ลายฉลุวางประสาน ปะเก็น ซีล และฉนวน

หัวจับเวเฟอร์แม่เหล็กไฟฟ้าและพื้นผิววงจรละเอียด

ด้วยการรักษาตระกูลชิ้นส่วนเหล่านี้ให้อยู่ภายใต้หลังคาการผลิตเดียว EMAR ช่วยให้อุปกรณ์ OEM มีห่วงโซ่อุปทานที่สอดคล้องกันและปรับขนาดได้ ซึ่งช่วยลดความยุ่งยากในการจัดการผู้ขายและรับประกันคุณภาพที่สม่ำเสมอในการประกอบ

พื้นผิวเสร็จสิ้นสำหรับความต้องการทำความสะอาดและประสิทธิภาพพื้นผิวของชิ้นส่วนที่กลึงเป็นส่วนต่อประสานกับสภาพแวดล้อมของกระบวนการ การตกแต่งที่ไม่ถูกต้องสามารถสร้างอนุภาคดักจับสารปนเปื้อนหรือย่อยสลายภายใต้การสัมผัสกับสารเคมี ความสามารถในการตกแต่งภายในและพันธมิตรของ EMAR ครอบคลุมช่วงเต็มรูปแบบที่จำเป็นสำหรับการใช้เซมิคอนดักเตอร์

อโนไดซ์และอโนไดซ์แข็ง: เคลือบสารไม่นำไฟฟ้าที่ทนต่อการกัดกร่อนสำหรับชิ้นส่วนอลูมิเนียม อโนไดซ์แข็งเพิ่มความต้านทานการสึกหรอที่เหนือกว่าสำหรับส่วนประกอบที่เคลื่อนไหว

การเกิดออกซิเดชันแบบไมโครอาร์ค: ชั้นคล้ายเซรามิกสำหรับอะลูมิเนียม แมกนีเซียม และไททาเนียม เหมาะอย่างยิ่งเมื่อต้องการความแข็งและความแข็งแรงไดอิเล็กทริก

การชุบนิกเกิลแบบไม่มีไฟฟ้า: ชั้นที่สม่ำเสมอและทนต่อการกัดกร่อนสำหรับส่วนประกอบเหล็ก สแตนเลส ทองเหลือง และทองแดง มักระบุไว้สำหรับอุปกรณ์แผงแก๊ส

ความหลงใหล: ขจัดเหล็กฟรีและเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนตามธรรมชาติของสแตนเลส ซึ่งเป็นพื้นฐานสำหรับส่วนที่หันไปทาง fab

การขัด: ให้พื้นผิวที่เรียบและปราศจากอนุภาคซึ่งcleanroom-compatibleโดยเนื้อแท้

การทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์: การระบุถาวรโดยไม่มีหมึกหรือฉลากที่อาจปล่อยก๊าซหรือหลั่งอนุภาค

ทุกการตกแต่งจะถูกเลือกและนำไปใช้ด้วยตาเพื่อรักษาความสมบูรณ์ของมิติที่ประสบความสำเร็จในการตัดเฉือน เมื่อชิ้นส่วนถูกยึดไว้ที่ 0.002 มม. กระบวนการเคลือบจะต้องไม่ยกเลิก

ข้อได้เปรียบในการผลิต EMAR เราไม่เพียง แต่เป็นเจ้าของเครื่องจักร เราได้รวบรวมระบบนิเวศที่ออกแบบมาเพื่อลดความเสี่ยงในการจัดหาส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์

พอร์ตโฟลิโอเครื่องที่สร้างขึ้นตามวัตถุประสงค์พื้นของเราประกอบด้วยเครื่อง CNC มากกว่า 200 เครื่องในหมู่พวกเขาศูนย์ 5 แกน (Jingdiao DMG AFMING Roders) เครื่องกลึงประเภทสวิส (สึงามิ ดาว) และ EMAR VESTA และ SIRIUS ซีรีส์ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเรา ศูนย์เครื่องจักรกลแนวตั้ง VESTA-660 และ VESTA-1000+ แพลตฟอร์มให้ความแข็งแกร่งความน่าเชื่อถือของแกนหมุนและความเสถียรทางความร้อนที่จำเป็นสำหรับการทำงานที่มีความทนทานสูงและมีปริมาณมาก ในกรณีที่ความซับซ้อนของชิ้นส่วนเพิ่มขึ้นเครื่อง SIRIUS-UM+ และ UL+ ก้าวเข้ามาพร้อมกับรอบเวลาที่เร็วขึ้นและความแม่นยำแบบไดนามิกที่สูงขึ้น เธรดทั่วไปคือการทำซ้ำ: ชิ้นส่วนที่ตัดบนชิ้นส่วนเครื่องหนึ่งจับคู่กับชิ้นส่วนเครื่องที่ตัดบนอีกชุดหนึ่ง

กรอบความคลาดเคลื่อน คุณสามารถพึ่งพาได้ เราเก็บขนาดเชิงเส้นไว้ที่ 0.01 มม. บนโลหะเป็นประจำ และ 0.05 มม. บนพลาสติก พร้อมคุณสมบัติตัวเรือนที่ดีที่สุด (เส้นผ่านศูนย์กลาง รูวิกฤต ขนานกัน) ถึง 0.001 มม. ถึง 0.002 มม. ตัวเลขเหล่านี้ไม่ใช่ตัวเลขทางทฤษฎี พวกเขาได้รับการตรวจสอบบน CMM ของ Zeiss และหกเหลี่ยม ระบบการมองเห็น 2.5D และสเปกโตรมิเตอร์ XRF ที่รวมอยู่ในกระแสการผลิตของเรา

การตัดเฉือนความเร็วสูงที่ระบายความร้อนด้วยเอทานอลของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อผลิตชิ้นส่วนที่มาถึงโรงงานของคุณให้สะอาดโดยไม่มีคราบมัน นี่เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับส่วนประกอบที่กำหนดไว้สำหรับการสัมผัสเวเฟอร์โดยตรงหรือสภาพแวดล้อมสูญญากาศ

กระบวนการทางวิศวกรรม ไม่ใช่แค่ส่วนที่มีวิศวกรมากกว่า 30 คนเกี่ยวกับพนักงาน EMAR ให้ข้อเสนอแนะ DFM จากขั้นตอนการอ้างอิง เราวิเคราะห์ความคลาดเคลื่อน แนะนำทางเลือกวัสดุตามความเหมาะสม และจำลองเส้นทางเครื่องมือก่อนที่จะตัดโลหะ ไม่ว่าคุณจะต้องการต้นแบบห้าตัวหรือ 500,000 หน่วยต่อปี กระบวนการจะปรับขนาดโดยไม่ต้องปรับวิศวกรรมใหม่

โลจิสติกส์พร้อมใช้งานทั่วโลก ตั้งอยู่ด้วยการเข้าถึงโดยตรงไปยังพอร์ตการจัดส่งที่สำคัญ เราส่งมอบเงื่อนไข DAP หรือ FCA ด้วยระยะเวลารอคอยการแข่งขัน เอกสารรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 ของเราเกี่ยวกับการจัดการคุณภาพอย่างเป็นระบบที่สนับสนุนทุกการจัดส่ง

นำส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการมากที่สุดของคุณไปยัง EMARA เมื่อความแม่นยำไม่สามารถต่อรองได้และเวลานำแน่นคุณต้องมีพันธมิตรเครื่องจักรกลซีเอ็นซีที่เข้าใจโลกเซมิคอนดักเตอร์จากภายในสู่ภายนอก EMAR รวมเครื่องหลายแกนขั้นสูงแคตตาล็อกวัสดุลึกการตกแต่งcleanroom-compatibleและวินัยในกระบวนการเพื่อเปลี่ยนการออกแบบที่ซับซ้อนที่สุดของคุณให้เป็นชิ้นส่วนการผลิตที่มีคุณสมบัติ - ตรงเวลาและตามข้อมูลจำเพาะ

มาหารือเกี่ยวกับโครงการต่อไปของคุณ ติดต่อทีมวิศวกรรมของเราเพื่อขอคำแนะนำด้านเทคนิคและใบเสนอราคา

+86 18664342076sales8@sjt-ic.comเยี่ยมชมเว็บไซต์ของเราเพื่ออัปโหลด RFQ ทันที