การวิเคราะห์การประมวลผลชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดอะไรบ้างสำหรับสภาพแวดล้อมการประมวลผล?

⒈ความสะอาด: การประมวลผลชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์จะต้องดำเนินการในการประชุมเชิงปฏิบัติการที่ปราศจากฝุ่นซึ่งต้องการระดับความสะอาดสูงมาก ปริมาณอนุภาคฝุ่นในโรงงานจะต้องควบคุมอย่างเข้มงวดในช่วงหนึ่งเพื่อป้องกันการปนเปื้อนและความเสียหายที่เกิดจากฝุ่นต่อชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ระดับความสะอาดที่แตกต่างกันเหมาะสำหรับการเชื่อมโยงการผลิตที่แตกต่างกันเช่นห้องปฏิบัติการสถาบันวิจัยและพัฒนาพื้นที่การผลิตที่สะอาดเป็นพิเศษ ฯลฯ ⒉อุณหภูมิและความชื้น: การประมวลผลชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ยังมีความต้องการที่แม่นยำสำหรับอุณหภูมิและความชื้นของสภาพแวดล้อม โดยทั่วไปควรควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงหนึ่งและควรหลีกเลี่ยงความชื้นสูงเกินไปหรือต่ำเกินไป ความชื้นสูงเกินไปอาจทำให้เกิดการปนเปื้อนบนพื้นผิวของทรานซิสเตอร์ซึ่งส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพ ความชื้นที่ต่ําเกินไปอาจทําให้เกิดไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวของชิปทําให้วงจรไฟฟ้าเสียหาย ดังนั้นการรับประกันสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิและความชื้นที่เหมาะสมจึงเป็นสิ่งสำคัญในการรับประกันคุณภาพและประสิทธิภาพของชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ⒊ ความดันอากาศและความสะอาดของก๊าซ: ในกระบวนการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องใช้ก๊าซต่างๆเช่นไนโตรเจนออกซิเจนไฮโดรเจน ฯลฯ ความดันอากาศของก๊าซเหล่านี้ต้องการการควบคุมที่แม่นยำเพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของกระบวนการแปรรูปและคุณภาพของชิ้นส่วน ในขณะเดียวกันความสะอาดของก๊าซก็เป็นกุญแจสำคัญเพื่อหลีกเลี่ยงสิ่งสกปรกในก๊าซที่ส่งผลกระทบต่อชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ⒋ การควบคุมแบบคงที่: สภาพแวดล้อมการประมวลผลชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์มีความเข้มงวดมากสำหรับไฟฟ้าสถิตย์ ไฟฟ้าสถิตอาจทำให้เกิดความเสียหายต่อการรวม CMOS ดังนั้นจึงต้องใช้มาตรการป้องกันไฟฟ้าสถิตที่มีประสิทธิภาพในการประชุมเชิงปฏิบัติการเช่นการใช้วัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ทำความสะอาดอุปกรณ์เป็นประจำ ฯลฯ พารามิเตอร์อื่น ๆ: นอกเหนือจากข้อกำหนดข้างต้นสภาพแวดล้อมการประมวลผลของชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ยังต้องควบคุมพารามิเตอร์อื่น ๆ เช่นความสว่างความเร็วลมของส่วนที่สะอาด ฯลฯ เพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการผลิตที่ราบรื่นและคุณภาพของชิ้นส่วนมีเสถียรภาพ