Félvezető alkatrészek CNC megmunkálás

A félvezető ellátási lánc egy állandótól függ: kompromisszumok nélküli precizitás.Minden ostyacsukás, CVD zuhanyfej, tesztaljzat vagy hűtőborda, amely belép egy Fab-ba, meg kell felelnie az egyszámjegyű mikronokban mért tűréseknek, és több ezer egységgel rendelkező ismételhetőséggel kell előállítani.Egyetlen out-of-spec rész hozhat egy litográfiai vonalat, hogy megálljon, vagy selejtezzen egy milliós zsetonokat.Ez az EMAR valóság minden nap működik - és ezért építettük az egész CNC megmunkáló ökoszisztémánkat a félvezető berendezések gyártóinak speciális igényei körül.

Ez a cikk kicsomagolja a félvezető alkatrészek teljes spektrumát CNC megmunkálás: a mikronszintű pontosságot biztosító technikák, az agresszív kémiai és hőkörnyezetben túlélő anyagok, az alkatrészek családok, amelyek a fabs futnak, és a befejezési folyamatok, amelyek biztosítják a tiszta helyiség kompatibilitását.Ha nagy pontosságú félvezető alkatrészek beszerzése, itt részletes, technikailag megalapozott áttekintést találsz arról, hogy milyen valóban képes gyártás néz ki.

Precízió a félvezetőben ManufacturingSemiconductor A gyártás mindig is verseny volt a végtelenség felé. Ami megváltozott, az a támogatáshoz szükséges gyártási infrastruktúra. Mivel Moore törvénye lelassul, és az iparág a fejlett csomagolás, a heterogén integráció és az egyre nagyobb ostyaformátumok felé fordul, a folyamateszközök mechanikai alkatrészeit arra kérik, hogy tartsák a toleranciákat, miután maguknak a chipeknek tartották fenn.

A mai trendek csak fokozzák a nyomást. A teljes automatizálás azt jelenti, hogy az ostyakezelési modulokat és a robotos végeffektorokat olyan pozicionáló funkciókra van szükség, amelyeket közel nulla eltérésre dolgoznak. A villamosítás és a szilícium-karbid teljesítményeszközök térnyerése minden eddiginél hatékonyabb hővezetésre készteti a hőkezelési komponenseket. Az átható digitális kapcsolat és a fokozott hardverbiztonság olyan tesztaljzatok és kontaktorok iránti keresletet teremt, amelyek több ezer beillesztési ciklust képesek lebomlás nélkül kezelni. Mindezen vektorok között a CNC megmunkálás a közös nevező, amely a nyers készletet minősített, gyártásra kész alkatrés

Az EMAR-nál egyetlen szabvány mellett közelítjük meg a félvezetős munkát: ha egy funkció mérhető, akkor azt ellenőrizni kell. Ez a filozófia végigfut minden gépen, minden folyamaton és minden ellenőrzési rutinon a padlónkon.

Alapvető CNC technikák félvezetők számára ComponentsSemiconductor Az alkatrészek a geometriák hatalmas skáláját ölelik fel - a hengeres ostya szállítócsapoktól a nagy formátumú, több ezer mikrolyukkal ellátott kamralemezekig. Az EMAR gondosan illeszkedő CNC képességeket alkalmaz, hogy kompromisszumok nélkül kezelje ezt a fajtát.

CNC marás (3-tengelyes 5-tengelyes)A laposság-kritikus alkatrészekhez, mint például az ostya tokmányok, a gáz elosztólemezek és a polírozópárnák, a többtengelyes marás biztosítja a felületi befejezés és a dimenziós vezérlés kombinációját, amelyet a félvezető alkalmazások igényelnek. 5 tengelyes megmunkáló központjaink, beleértve az EMAR VESTA sorozatot és a D2-5AX platformokat, lehetővé teszik a komplex geometriák egyszeri megmunkálását, kiküszöbölve a több rögzítésből származó verem-up hibákat.Az eredmény 0,002 mm-en belüli laposság és a minimális utófeldolgozást igénylő felületi befejez

CNC esztergálás és svájci MachiningCylindrical alkatrészek - csatlakozók, perselyek, ostya szállító görgők, és pogo gombos ház - CNC esztergagépeinken és svájci típusú automata esztergagépeinken készülnek. A kis átmérőjű, high-length-to-diameter-ratio Gyakori alkatrészek a tesztaljzatok és a chip-hordozók.A csúszó fejtartó technológiával átmérőket tartunk 0,002 mm-re a ceruza ólomnál nem nagyobb funkciókon.

Nagysebesség Micro-MachiningSeveral A félvezető alkatrészek, leginkább a CVD zuhanyfejek és a tesztaljzatok több száz vagy több ezer apró lyuk mintáját igénylik, amelyek mindegyike pontos átmérővel, pozícióval és falminőséggel rendelkezik. Az EMAR nagysebességű orsóplatformjai (legfeljebb 60 000 RPM) ultra-alacsony kifutású szerszámtartókkal párosítva erre a célra épültek. Az alacsony rezgésű kialakítás megőrzi a szerszám élettartamát a rozsdamentes acél, sárgaréz és mérnöki műanyagok sűrű lyuktömbjei felett. Ezeken a rendszereken etanol-alapú hűtőfolyadékot is használunk – ez egy teljesen olajmentes megoldás, amely megszünteti a maradékot és megakadályozza a szennyeződést, így kezdettől fogva tiszta

CAD/CAM-vezérelt folyamatvezérlésMinden rész 3D-s CAD modellel és CAM szimulációval kezdődik. Mielőtt egyetlen chipet levágnánk, mérnökeink validálják a szerszámpályákat, előre jelzik az anyagú rugó-visszafutást, és ellenőrzik a mikroeszközök clearance-jét. Ez a digitális front-end az, ami lehetővé teszi számunkra, hogy egy összetett, tolerált nyomtatásból egy minimális iterációval rendelkező első cikkrészre jussunk – ez kritikus tényező, ha a vezetési idők szűkösek.

Anyagok, amelyek megfelelnek a Fab RequirementsSemiconductor A környezetek kémiailag agresszívak, hődinamikusak, és könyörtelenül a szennyeződés-ellenőrzésre összpontosítanak. A CNC-megmunkált alkatrészek anyagpaletta meg kell felelnie ezekkel a feltételekkel.

Fémek

Alumínium ötvözetek (6061-T651, 7075-T651, 5052-T651): Könnyű, kiváló hővezető képességű, és természetesen korrózióálló. Hűtőborítókhoz, kezelőtartókhoz, ostyatokmányokhoz és nagy szerkezeti házhoz használják.

Rozsdamentes acél (303, 304, 316, 17-4PH): Nagy szilárdság, kiváló korrózióállóság és tiszta helyiség kompatibilitás. Szerelvényekben, csatlakozókban, gázpanelekben és kamraelemekben telepítve, amelyeknek ellen kell állniuk az agresszív tisztítási vegyszereknek.

Titán (2. fokozat, 5. fokozat): Kivételes erő-tömeg arány és biokompatibilitás. Speciális ostyakezelésben és medical-semiconductor crossover berendezések.

Réz és sárgaréz (T2, H59, H62): Magas elektromos és hővezető képesség. Alapvető a kontaktorokhoz, EMI árnyékoláshoz és hőkezelő alkatrészekhez. A sárgarézt olyan csatlakozókhoz is használják, ahol a könnyű megmunkálás és az alacsony súrlódás számít.

Mérnöki Műanyag

PEEK: A 250C feletti folyamatos üzemi hőmérsékletnek ellenáll, gyakorlatilag minden folyamat vegyi anyagnak ellenáll, és rendkívül alacsony kigázosodást mutat. Az ostyák kezelésére, szigetelőkre és tesztaljzatokra választott anyag.

PTFE (Teflon): Alacsony súrlódási együttható és univerzális kémiai ellenállás. Gyakori tömítésekben, tömítésekben és szigetelő alkatrészekben.

Polikarbonát és Delrin (POM): Átlátszó burkolatokhoz, szerelvényekhez és kopásálló alkatrészekhez használják, ahol dielektromos tulajdonságokra van szükség.

Speciális félvezető anyagokA szabványos ötvözetek mellett az EMAR rutinszerűen megmunkálja az aljzatszerű anyagokat:

Szilícium: Félkristályos, tiszta félvezető anyag precíziós elektronikus alkatrészekhez.

Alumínium nitrid: Magas mechanikai szilárdság a hővezető képességgel és a hőkokk ellenállásával kombinálva - tökéletes hőszórókhoz és szigetelő hordozókhoz.

Szilícium-nitrid: Kemény, megmunkálható, hőstabil. Használjuk, ahol mind elektromos szigetelés, mind mechanikai robusztusság szükséges.

Az anyagi kompetencia szélessége azt jelenti, hogy nem kell több beszállítót minősíteni a különböző részek családjainak fedezésére.Az EMAR egy minőségi rendszer alatt kezeli a fém, műanyag és kerámiaszerű anyagokat.

Félvezető alkatrészek A félvezetőipar évtizedek óta támogatja az EMAR gyakorlatilag minden típusú CNC-megmunkált alkatrészt előállított a front-end és back-end berendezésekben.Az alábbiakban azok a kategóriák, amelyek napi kimenetünk nagy részét képviselik.

Ostyafeldolgozó alkatrészek

Polírozópárnák precíz felületi geometriákkal a CMP síkításhoz

Ostyás tokmányok és hordozók, megmunkált lapos és párhuzamos egyjegyű mikrontűrésekkel

CVD zuhanyfejek sűrű mikrolyukú tömbökkel az egységes prekurzor gázszállításhoz

Gáz elosztólemezek és kis ostyakamrák (VESTA-1300 platformokon megmunkálva)

Ostyavezető feldolgozó egységek és chipfeldolgozó lemezek

Hőmenedzsment

Alumínium és réz hűtőborda finom pályás geometriákkal

Alumínium nitrid hőszórók nagy teljesítménysűrűségű alkalmazásokhoz

Folyadékhűtésű, belső csatornákkal ellátott hideglemezek

Teszt, csomagolás és összekapcsolás

PEEK vagy PEI-ben megmunkált, ultra-precíz pogo-pin furattömbökkel ellátott tesztaljzatok

Chip-hordozók és nagy sűrűségű csatlakozók szűk hangmagasságtűrésekkel

Szabályozott mechanikus chip expozícióhoz szükséges károsodásmentes dekapszuláló berendezések

PCB-átdolgozó platformok, amelyek nagy értékű táblákon lévő alkatrészek műtéti eltávolítását igénylik

Szerkezeti, kezelési és védelmi

Ostya kezelési konzolok - merev, mégis könnyű, alumíniumból megmunkált, vákuumbarát lapossággal

Huzatok, burkolatok és flex áramkör merevítők

Forrasztópaszta stencilek, tömítések, tömítések és szigetelők

Elektromágneses ostyatokmányok és finomvonalas áramkör szubsztrátumok

Mindezen alkatrészcsaládok egyetlen gyártási tető alatt tartásával az EMAR koherens, skálázható ellátási láncot biztosít a berendezések OEM-jei számára, amely leegyszerűsíti a szállítók kezelését és biztosítja a konzisztens minőséget az összeszerelések között.

Felületi befejezések a tiszta helyiséghez és a teljesítmény igényeihezA megmunkált alkatrész felülete a folyamatkörnyezettel való kapcsolódása. A rossz befejezés részecskéket hozhat létre, szennyező anyagokat csapdába ejthet, vagy kémiai expozíció esetén lebomlik. Az EMAR házon belüli és partner befejezési képességei lefedik a félvezető használatához szükséges teljes tartományt.

Anodizáló és kemény eloxizáló: Korrózióálló, nem vezető bevonat alumínium alkatrészekhez. A kemény eloxizálás kiváló kopásállóságot biztosít a mozgó alkatrészek számára.

Mikro-ív oxidáció: Kerámiaszerű réteg alumínium, magnézium és titán számára - ideális, ha extrém keménységre és dielektromos szilárdságra van szükség.

Elektromos nikkelbevonat: Egységes, korrózióálló réteg acél, rozsdamentes acél, sárgaréz és réz alkatrészekhez, gyakran gázpanel szerelvényekhez.

Passziválás: Eltávolítja a szabad vasat, és fokozza a rozsdamentes acél természetes korróziós ellenállását - bármely fab-felú rész kiindulási vonala.

Polírozás: Sima, részecskementes felületeket biztosít, amelyek eredendően cleanroom-compatible .

Lézeres jelölés: Állandó azonosítás tinta vagy címkék nélkül, amelyek a részecskéket kigázosíthatják vagy kiönthetik.

Minden befejezést kiválasztunk és alkalmazunk azzal a szemmel, hogy megőrizzük a megmunkálás során elért dimenziós integritást.Ha egy alkatrész 0,002 mm-re tartott, a bevonat folyamata nem vonhatja vissza.

Az EMAR gyártási előnyeNem csak saját gépekkel rendelkezünk. Összeállítottunk egy olyan ökoszisztémát, amelynek célja a félvezető komponens beszerzésének kockázatmentesítése.

Célra épített gépportfóliónk több mint 200 CNC gépet foglal magában, köztük 5 tengelyes központokat (Jingdiao, DMG, AFMING, Roders), svájci típusú esztergagépeket (Tsugami, Star), valamint saját EMAR VESTA és SIRIUS sorozatú vertikális megmunkáló központjainkat. A VESTA-660 és VESTA-1000+ platformok biztosítják a merevséget, az orsó megbízhatóságát és a hőstabilitást, amelyek szükségesek a szűk tűrőképességű, nagy volumenű munkavégzéshez. Ahol az alkatrész bonyolultsága fokozódik, a SIRIUS-UM+ és UL+ gépek még gyorsabb ciklusidővel és nagyobb dinamikai pontossággal lépnek be. A közös szál az ismételhetőség: az egyik gépen vágott alkatrészek megegyeznek a másikon vágott alkatrészekkel, tételről tételre.

Tolerancia keretrendszer, amelyre támaszkodhatFémeken rendszeresen 0,01 mm-re, műanyagokon 0,05 mm-re tartjuk a lineáris méreteket, a legjobb jellemzők (átmérők, kritikus lyukak, párhuzamosság) elérik a 0,001 mm-től 0,002 mm-ig.Ezek nem elméleti számok;Ellenőrizhetők a Zeiss és a hatszög CMM-eken, a 2.5D látási rendszereken és az XRF spektrométereken integrálva a termelési áramlásunkba.

Cleanroom-Aware MachiningOur etanol-hűtött nagysebességű megmunkáló sejtjeinket úgy tervezték, hogy olyan alkatrészeket állítsanak elő, amelyek tisztán érkeznek a létesítménybe, olajos maradványok nélkül. Ez különösen kritikus a közvetlen ostya érintkezésre vagy vákuumkörnyezetekre szánt alkatrészeknél.

Mérnöki folyamat, nem csak alkatrészek30+ mérnökkel a személyzettel az EMAR DFM-visszajelzést nyújt az idézési szakaszból.A toleranciákat elemzzük, adott esetben javasoljuk az anyagi alternatívákat, és szimuláljuk a szerszámpályákat a fém vágása előtt.Függetlenül attól, hogy öt prototípusra vagy 500 000 egységre van szüksége évente, a folyamat mérete az újratervezés nélkül.

Global-Ready LogisticsLocated közvetlen hozzáféréssel a nagy szállítási kikötők, szállítunk DAP vagy FCA feltételek versenyképes átfutási idők. Az ISO 9001:2015 tanúsításunk dokumentálja a szisztematikus minőségirányítást, amely minden szállítmányt támogat.

Hozd el a legigényesebb félvezető alkatrészeit az EMARHa a precizitás nem tárgyalható, és az átfutási idők szorosak, szükséged van egy CNC megmunkáló partnerre, aki belülről kifelé érti a félvezető világot. Az EMAR egyesíti a fejlett többtengelyes gépeket, mély anyagkatalógust, cleanroom-compatible befejezés, és folyamatfegyelem, hogy a legösszetettebb terveket minősített gyártási alkatrészekbe fordítsa - időben és specifikációk szerint.

Megbeszéljük a következő projektet. Forduljon mérnöki csapatunkhoz műszaki konzultációért és árajánlatért.

Tél. : +86 18664342076 sales8@sjt-ic.com Látogasson el weboldalunkra az azonnali RFQ feltöltéshez.